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1. 摘要 <|.! Px86 Tq_X8X#p 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 3 &Zx*: jO
N}&/ kvVz-PJy ~I^[rP~ 2. 建模任务 p:>? I=Dk'M
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KGwL09) 3. 干涉条纹的变化 bh6wI%8H ,
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dC|#l?P P\0%nyOG(% 4. 走进VirtualLab Fusion .wOLi Ms 6i=wAkn_J
c'TLD!^hB V>j` 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 W$&Ets8zo jY6=+9Jz5
n\al}KG (mr`?LI} 6. VirtualLab Fusion 技术 /
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L"<Eov6 7. 文件信息 BcO2* 3 j?) `VLZ
QjbPBk Q ##ea-"m8 更多阅读 fx"+ZR - Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration `l#$l3v+ - Mach-Zehnder Interferometer #{cpG2Rs - Fizeau Interferometer for Optical Testing T>o# *{qn {!bJ.O
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