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1. 摘要 `m8WLj <2]D3,.g. 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 `@WJ_-$# OB\ZT @l hQ!59 S("dU`T? 2. 建模任务 $+ N~Fa {o 5^nd
#`f{\ #d*gWwnx" 3. 干涉条纹的变化 L|:CQ (9TSH3f?
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cDzb}W*UM {&^PDa|nD 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 bd-iog( EY3F9h3xM|
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