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1. 摘要 _d"b;4l jX3,c%aQ5e 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 qQA}Z*(m 19O,a#{KHf 8Eakif0CO G B>QK 2. 建模任务 0J?~N`#O| lzYEx
tE@;X= ~i~7na| 3. 干涉条纹的变化 :bz}c48% e?7&M
k 8UO9r[ NdL,F;^ 4. 走进VirtualLab Fusion PV9pa/`@
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