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作为衍射光学领域广泛使用的方法,薄元近似(TEA)在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面,当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时,这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓(正弦和闪耀),并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析,用来比较两种方法的结果。 >b[4 "j*fVn 用于光栅建模的TEA与FMM |DdW<IT`0 Z&2
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Y/QK+UMW* 我们同时使用TEA和FMM(也称为RCWA)来分析两种周期不同的光栅(正弦光栅和闪耀光栅),并比较了两种方法的结果。 iPRJA{$b_ w*]_FqE 闪耀光栅的傅里叶模态分析 TXY /v<e$0~s<
!XG/,)A 在VirtualLab Fusion中,傅里叶模态方法(FMM)可用于光栅效率的严格分析。 C.B8 J"T- >2!^ dT^D 7`j|tb- QQ:2987619807 _rWTw+
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