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    [分享]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-23
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    摘要 W(5XcP(  
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    D/[;Y<X#V  
    \-Vja{J]  
    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 u ,R R|/@  
    tJ Bj9{  
    建模任务 Nk63F&J7e  
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    =[JstiT?E  
    观测倾斜平面 ^4/   
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    F8H4R7 8>;  
    观测柱面 r 4 $<,~  
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    ($nQmr;t  
    观测球面 8Z|A'M  
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    nsL"'iQ  
    走进VirtualLab Fusion 0tKVo]EK  
    ~nJ"#Q_T  
    ~P7zg!p/q  
    B>}B{qi|  
    VirtualLab Fusion的工作流程 aT4I sPA?_  
     设置输入场 4A0v>G`E*#  
    - 基本光源模型 [教学视频] YsO3( HS  
     使用表面构造真实元件 3AcS$.G  
    a B$x(8pP@  
     定义元件的位置和方向 ]z O6ESH  
    - LPD II:位置和方向 [教学视频] T)MX]T  
     为非序列场追迹设置合适的通道 %i6/= 'u  
    - 非序列场追迹的频道设置 [用例] bMq)[8,N  
    j/t)=c  
    Tnv,$KOhs  
    S5BS![-QK  
    VirtualLab Fusion技术 dQn , 0  
    s6F0&L;N&  
    cYgd1  
    kyi"U A82  
    文件信息 z"nMR_TTu  
    YEa<zhO8  
    f AY(ro9Q(  
    *(s0X[-  
    W(}2R>$  
    QQ:2987619807 ;Q8`5h   
     
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