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摘要 PMbZv%.,- 0x5Ax=ut 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 & C)1( )$i,e`T
r"{jrBK$ ]>Z9K@ 设计任务 uI?Z_ f R@Cg
sw ,vf#e=Z Op]*wwI*h 仅位相透射设计(IFTA) lkJxb~S Nr$78] o9 u<fZ.1 #|Lsi`]+ 仅位相透射设计(IFTA) WrDFbcH :n{{\SSIgX h6O'" p o)lN[v 超表面晶胞分析 'fb\t, T!y 9v5 W3>9GY90R <
B]qqqP 构建超光栅 _L~ 3h fvH{va. 612,J B&rN |