作为最著名的衍射效应之一，泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人，我们在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版，并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。 特别是，由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的，因此我们在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。 'vhgR2/
f /&Dy'OV7 圆锥形相位掩模的Talbot图像 }7IS:"t u
vy,ER< 在VirtualLab Fusion中对带有圆锥体的相位掩模版进行了建模。检测到不同的Talbot图像，以使柱形图案位于主像平面中，而孔图案出现在次像平面中。 {Rc/Ten
?2
u_E " 用于光栅仿真的非偏振光–实例讨论 Cl6y:21]K
& *B@qQ 示范了在VirtualLab Fusion的光栅仿真建模中，如何以两个正交偏振态的平均值建模非偏振光的影响。 Vu*yEF} ot;j6eAH~E
.D-} 2<z 有什么问题可以添加微信交流~ iJZqAfG{m? 
5:hajXd
]~U4;
