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    [分享]泰伯(TALBOT)光刻机 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    作为最著名的衍射效应之一，泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人，我们在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版，并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。 特别是，由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的，因此我们在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。  $mG&4Y  
     ?I.<mdhN#t  
    圆锥形相位掩模的Talbot图像 QA&BNG  
    !B{N:?r  
    在VirtualLab Fusion中对带有圆锥体的相位掩模版进行了建模。检测到不同的Talbot图像，以使柱形图案位于主像平面中，而孔图案出现在次像平面中。 *.9.BD9  
     YWPAc>uw,  
    用于光栅仿真的非偏振光–实例讨论 `$D2w|  
    9*}?0J8  
    示范了在VirtualLab Fusion的光栅仿真建模中，如何以两个正交偏振态的平均值建模非偏振光的影响。 }x1*4+Y1  
    HLcK d`$/  
     nzHsyL  
    有什么问题可以添加微信交流~ cC6W1K!  
    VZ8HnNAbX  
     t`X-jr)g  
     
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