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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 |w2H5f{fR !oeu 1.建模任务 W=M`Bkw{ &LE,.Q34 )/H=m7}1h DOE:扩散器 W)jO 4,eO 直径:1.4mm X 1.4mm c0]^V>}cl 相位等级:2 2Yt#%bj7^ 像素尺寸:>1um \P]w^ e&f9/rfx
3jPua)=p 2.照明光束参数 $X_JUzb <=8REA?
~dfc [-!
x[7jm"Pz 波长:632.8nmm <}-[9fW 激光光束直径(1/e2):700um !=@Lyt)_b *,hS- 3.期望输出场参数 hK9Trr wau e{8z1t20:
}f np}L J&}/Xw) \o9-[V#Gm • 直径:1° D/jB. • 分辨率:≤0.03° yiGq?WA7 • 效率:>70% v5l)T}Nb • 杂散光:<20% i rMZLc6 tLe!_p) 4.设计和优化方法 p+U}oC 5Z}]d@ • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 uZ( I|N$ • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 T6JN@:8 -frmvNJ F 5.配置方法 mdvooJ LAeJz_9U AEx
I! 你可以 }$3eRu + • 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 q}e"E
cr • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 aO('X3? ~n%~ Z|mMF 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 /kE3V`es M>dP
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r(iT&uz !Uz{dFJf; 6.设置输入光束参数 "P HkbU e> ~g!S}G
1C\OL!@L Y~Y-L<`I 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 ,~8:^*0s ?|'+5$
1o)@{x/pd Ov"]&e(I[ 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 Mg;%];2Nt sHD8#t^{ 7.光学系统 W)3?T&` ia
1Sf3
e*p7(b- G%w.Z< qy 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 tAFKq>\ Gm;)Om_
Vy0s%k SLp &_S@4 光学系统周围介质默认为空气。 3ny>5A!;2 >c%OnA,3 8.期望输出场设置 r(xh5{^x ZC 7R f
1oD,E!+^d (n+2z"/ 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 bh|M]*Pq "MHm9D?5 9.参数确认过程中的提示 >nV~5f+ lo*OmAF
!E!i`yF y\Kr@;q0w D+ mZ7&L • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 $Llv6<B • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 v+uq • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 XWN
ra • 散斑大小由分辨率影响,但不能任意控制。 f =@'F= zWKnkIit, 10.警告 stuj,8 koOkm:(, OE' ?3S jGpSECs 出现以下情况,会出现红色警告信息: c} )U:?6 • 通告指定的光学系统,不能达到期望的分辨率。 ITJ{]7N • 光学系统将创建离散点,而不是散斑图。 |{W4JFKJ • 光学系统或指定分辨率并不能实现光图案所有的细节。 ~_opU(;f .GcIwP'aU- 单击Optimize Resolution按钮来帮忙调整系统参数。 q1ybJii {y)O?9q 11. 帮助改变参数 ws8@yr<R ]j> W9n?
!>QS746S@ -n&g**\w ]D?// • 这个对话框会显示分辨率是否适合典型的扩散器设计。
[U9b_` • 此处显示设置没有任何问题。 <=.0
P/N • 另外,通过这个工具,VirtualLab Fusion提供了某些确定选项以对参数进行调整,从而达到一个最佳的激光光束直径和分辨比。 Aq'yr,
^mxOQc ! 12.DOE透过率函数参数 Zjqa n mdjPKrF< B1< |