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此案例演示了设计和优化衍射光学元件的(DOE)作为光扩散器,来生成矩形高帽图样。 zMp vS rc BhAT@% 1.建模任务 *ezMS o9|
OL rlh:|#GTJ DOE:扩散器 EZiLXQd_ 直径:1.4mm X 1.4mm "9[2vdSX 相位等级:2 d`V.i6u 像素尺寸:>1um aTm R~k 0sw;h.VY
xPm{'J+b~ 2.照明光束参数 O95gdxc i^:#*Q-co
M1/(Xla3 /8]K}yvR Q}\\0ajS) 波长:632.8nmm O{3X`xAf 激光光束直径(1/e2):700um 6FUcg40Y r$4d4xtK 3.期望输出场参数 5V(#nz PJm@fK(j
j<
h1s% |PYyhY go=xx.WJ • 直径:1° #w5%^HwO • 分辨率:≤0.03° sbVEA • 效率:>70% &Hf%Va[B • 杂散光:<20% ;TDvk]: Sx~mc_ekY 4.设计和优化方法 %e25Z.Se$ +<@1)qZ(E • VirtualLab Fusion可以使用不同的设计和优化方法。 U9PI#TX
&O • 对于此案例,迭代傅里叶变换算法(IFTA)用于设计和优化(DOE)期望的衍射光学元件。 ~eP~c"L U:7w8$_ 5.配置方法 ;,]4A{| KY<
$+/B! &m36h`tM 你可以 ktfxb<% • 使用辅助会话编辑器,进行光学系统的设置并且配置优化和设计文档。 QhTn9S:D • 或手动进行一切配置(更高级的方法)。 aLLI\3 .EWj eVq 通过点击Start→Diffractive Optics→Regular Shape Diffuser 看可以打开会话编辑器的开开始页面。如下图所示。 a(fiW%eFb dzbbFvG
hJ%$Te gGCr~.5 6.设置输入光束参数 b(U5n"cdA R(_WTs9x4
.#tA .%
p; , V 腰束和发散角的定义:1/e2 Waist Diameter,Divergence Full Angle。 9i_@3OVl >\'}&oi
u&={hJ&7 Lfa&JKd 设置波长为632.8nm,腰束直径为700um。 tr0kTW$Ad 9+ve0P7$ 7.光学系统 6&~Z3|<e t6e6v=.Pg
IAb.Z+ig 46l*ui_ 选择光学系统为角谱(Angular Spectrum)。 $u,A/7\s qD"~5vtLqQ
@$p6w TL"+Iv2]/$ 光学系统周围介质默认为空气。 Ssir?ZUm T$FKn 8.期望输出场设置 DN*M-o9 9.~_swkv
x) %"i) !3c+}j-j 维度设置为二维高帽(2D Top Hat),高帽(Top Hat)形状设置为矩形(Rectangular Shape)。 }(na)B{m pXQ$n:e 9.参数确认过程中的提示 lt5Knz2G,Z J7EWaXGbz
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*fy aAv 6PWw^Cd • 指定要创建光图样的期望光学分辨率。 .hf%L1N%F • VirtualLab Fusion给出了一些有用的建议。 "f3mi[ • 考虑到在相干照明下,光图案由散斑组成。为了获得清晰的期望光图案,散斑尺寸应该小于光图案的最小细节。 /a}N6KUi • 散斑大小由分辨率影响,但不能任意控制。 D&N3LH 2=7[r-*E 10.警告 ?u{Mz9:?HT PK{FQ3b2{ mH<|.7~0 $Mx?Y9! 出现以下情况,会出现红色警告信息: O#8lJ%? • 通告指定的光学系统,不能达到期望的分辨率。 NDe FY • 光学系统将创建离散点,而不是散斑图。 =b6G' O[ • 光学系统或指定分辨率并不能实现光图案所有的细节。 (o\D=!a ,&O&h2= 单击Optimize Resolution按钮来帮忙调整系统参数。 -@'RYY= Mg^A,8lrm 11. 帮助改变参数 G%jV}7h Hp(41Eb,
8JMxA2tZhG .v=n-k7 yRhD< |