近年来,
应用光学领域中出现了许多新技术。本书基于作者多年光学领域的研究和积累,系统阐述了应用光学的现代理论和应用,并引入这些新技术。全书内容包括波面像差理论及几何像差理论、以非球面和自由光学曲面简化光学系统设计、太阳能电站和现代高效
照明中的非成像光学等;反映了应用光学中的前沿技术,如光学系统焦深扩展与衍射极限的突破、微纳光子学和表面等离子体微纳光学设备中的光学系统、自适应光学等;叙述了现代物理光学仪器的光学系统原理,包括光电干涉光学系统、光电光谱仪及分光光度光学系统、偏振光电仪器光学系统及偏振光成像技术等。本书既讲解应用光学基础理论,又涵盖国内外应用光学领域*新的技术理论和实现方法,适合作为相关专业高校师生和广大科研人员的参考书。
{I0!q"sF 1+3-Z>^ e WN|_IJR~ c^H#[<6p lBG=jOS .1^Kk3 目 录
|*ZM{$ 第1章 现代应用光学基础理论概述 1
->{\7|^ 1.1 概述 1
5G2ueRVb 1.1.1 本书的背景 1
$aT '~|? 1.1.2 本书的内容安排 1
"UY34a^I 1.2 光学系统设计中常用的光学材料特征参数 2
mPPB"uQ 1.2.1 光学材料的光学参量 2
)D+eWo 1.2.2 热系数及温度变化效应的消除 4
=C(BZ+-^ 1.2.3 其他玻璃数据 4
Kn1u1@&Xd 1.3 新型光学材料 5
RFe>#o 1.3.1 新型光学材料概述 5
8N j} 1.3.2 光学材料发展概况 6
z\,
lPwB2 1.4 液晶材料及液晶显示器 12
?G9DSk?6%Z 1.4.1 液晶材料及其分类 12
G]xN#O; 1.4.2 常用液晶显示器件的基本结构和工作原理 16
".AW 1.4.3 STN-LCD技术 27
Cv>~%< 1.4.4 液晶光阀技术 32
%>zG;4 1.4.5 硅上液晶(LCoS)反射式显示器 36
{EoZ}I 1.4.6 光计算用SLM 38
9ec#'i= 1.5 电
光源和光电探测器 38
_a$5" 1.5.1 电光源 38
iV@\v0k 1.5.2
激光器 41
75P!`9bE 1.5.3 光电导探测器 48
YGyw^$.w 1.5.4 光伏探测器 49
LoJEchRK 1.5.5 位敏探测器 53
{<Y!'WL{ 1.5.6 阵列型光电探测器 56
}(na)B{m 1.6 波像差像质评价基础知识 59
$*XTX?,' 1.6.1 光学系统像差的坐标及符号规则 59
F!I9)PSj 1.6.2 无像差成像概念和完善
镜头聚焦衍射模式 60
J7EWaXGbz 参考文献 63
3S>rc0]6 第2章 光学非球面的应用 67
%qrUP\rn 2.1 概述 67
h3\(660>$ 2.2 非球面曲面方程 67
n
sN n>{ 2.2.1 旋转对称的非球面方程 67
pK>/c>de 2.2.2 圆锥曲线的意义 68
\G/ZA) t 2.2.3 其他常见非球面方程 70
8<6@O 2.2.4 非球面的法线和曲率 71
`5x0p a 2.3 非球面的初级像差 71
h6`VU`pPI 2.3.1 波像差及其与垂轴像差的关系 71
^{8CShUCv 2.3.2 非球面的初级像差 73
#MMp0 2.3.3 折射锥面轴上物点波像差 75
:$X dR:f}} 2.3.4 折射锥面轴外物点波像差 76
RSM+si/ 2.4 微振(perturbed)光学系统的初级像差计算 77
Y!(w. G 2.4.1 偏心(decentered)光学面 78
XTb.cqOC 2.4.2 光学面的倾斜 80
[
f<g?w 2.4.3 间隔失调(despace)面 81
b9b`%9/L 2.5 两镜系统的理论基础 82
Z]Z&PbP 2.5.1 两镜系统的基本结构形式 82
6|6O|
<o 2.5.2 单色像差的表示式 82
V+|$H
h8 2.5.3 消像差条件式 84
xo-}t5w6t 2.5.4 常用的两镜系统 85
CX{M@x3m 2.6 二次圆锥曲面及其衍生高次项曲面 86
-
ikq#L){ 2.6.1 消球差的等光程折射非球面 86
|`I9K#w3 2.6.2 经典卡塞格林系统 87
jW| ,5,43 2.6.3 格里高里系统 88
0!axAvBV 2.6.4 只消球差的其他特种情况 88
2of+KI: 2.6.5 R-C(Ritchey-Chrétien)系统及马克苏托夫系统 89
9(a*0H 2.6.6 等晕系统的特殊情况 90
ady
SwB 2.6.7 库特(Cuder)系统及同心系统 91
sG|,#XQ 2.6.8 史瓦希尔德(Schwarzschield)系统 92
& )-fC 2.6.9 一个消四种初级像差 的系统 93
!;k
^ 2.6.10 无焦系统 93
1iM(13jW 2.7 两镜系统的具体设计过程 93
hJ8B&u( 2.7.1 R-C系统的设计 93
M|.ykA<D 2.7.2 格里高里系统与卡塞格林系统 94
,>pv>)u{ 2.8 施密特光学系统设计 95
s2+_`Ogg 2.8.1 施密特光学系统的初级像差 95
kZ^wc . 2.8.2 施密特校正器的精确计算法 98
p+2%LYR u 2.9 三反射镜系统设计示例 99
^(qR({cX 2.9.1 设计原则 99
[S.zWPX9{ 2.9.2 设计过程分析 100
p5nrPL 2.9.3 设计示例 101
jlD3SF~2 参考文献 103
)Z:maz 第3章 衍射光学元件 105
G1,u{d-_ 3.1 概述 105
;O .;i,#Z 3.1.1 菲涅耳圆孔衍射――菲涅耳波带法 106
$M4C4_oPy 3.1.2 菲涅耳圆孔衍射的特点 108
xaIe7.Z"xo 3.1.3 菲涅耳圆屏衍射 109
bh5C 3.2 波带片 110
Dx P65wU 3.2.1 菲涅耳波带片 110
/w*HxtwFmD 3.2.2 相位型菲涅耳波带片 112
bU4\Yu
3.2.3 条形或方形波带片 113
LA,G>#?H 3.3 衍射光学器件衍射效率 113
^g+M=jq _ 3.3.1 锯齿形一维相位光栅的衍射效率 113
t..@69 3.3.2 台阶状(二元光学)相位光栅的衍射效率及其计算 114
bde6
;=oM 3.4 通过衍射面的光线光路计算 115
g*%o%Lv 3.5 衍射光学系统初级像差 118
vb\R~%@T, 3.5.1 衍射光学
透镜的单色初级像差特性 118
aQ1n1OBr 3.5.2 折衍混合成像系统中衍射结构的高折射率模型及PWC描述 121
~Z97L 3.5.3 P∞、W∞、C与折衍混合单透镜结构的函数关系 122
61z^(F$@ 3.6 折衍光学透镜的色散性质及色差的校正 123
z&|sks7 3.6.1 折衍光学透镜的等效阿贝数ν 123
x Sv@K5"8! 3.6.2 用DOL实现消色差 124
%BkPkQA 3.6.3 折衍光学透镜的部分色散及二级光谱的校正 125
hl+
T 3.7 衍射透镜的热变形特性 127
&!8u4*K5j 3.7.1 光热膨胀系数 127
{1vlz>82 3.7.2 消热变形光学系统的设计 129
pA5X<)~
3.7.3 折衍混合系统消热差系统设计示例 130
yjChnp
Cc 3.8 衍射面的相位分布函数 132
j&,%v+x 3.8.1 用于平衡像差的衍射面的相位分布函数 132
04#r'UIF 3.8.2 用于平衡热像差的衍射面的相位分布函数 133
HD}3mP 3.9 多层衍射光学元件(multi-layer diffractive optical elements) 133
g\?7M1~ 3.9.1 多层衍射光学元件的理论分析 134
_8?r!D#P;s 3.9.2 多层衍射光学元件的结构 134
-s6;IoG/ 3.9.3 多层衍射光学元件材料的选择 134
EMS$?"K 3.9.4 多层衍射光学元件的衍射效率 135
'n!Sco)C 3.9.5 多层衍射光学元件在成像光学系统中的应用举例 136
&PEw8: TX 3.10 谐衍射透镜(HDL)及其成像特点 137
onUF@3V 3.10.1 谐衍射透镜 137
|+Ub3<b[] 3.10.2 谐衍射透镜的特点 137
8.D9OpU 3.10.3 单片谐衍射透镜成像 138
n{.SNipU 3.10.4 谐衍射/折射太赫兹多波段成像系统设计示例 139
(w,
Gv-S 3.11 衍射光学轴锥镜(简称衍射轴锥镜) 143
6\/(TW& 3.11.1 衍射轴锥镜 143
^@xn 3zJ 3.11.2 设计原理和方法 144
)}R
w@70L- 参考文献 150
P:HmT 第4章 非对称光学系统像差理论 153
+C9l7 q 4.1 波像差与Zernike多项式概述 153
Lc13PTz>>g 4.1.1 波前像差理论概述 153
j}@n`[V1 4.1.2 角向、横向和纵向像差 154
JXF@b-c 4.1.3 Seidel像差的波前像差表示 155
1bJrEXHXy 4.1.4 泽尼克(Zernike)多项式 162
\MFjb IL 4.1.5 条纹(fringe)Zernike系数 164
p3{ 3[fDx 4.1.6 波前像差的综合评价指标 165
Fop'm))C8 4.1.7 色差 167
x]jJ 4.1.8 典型光学元件的像差特性 167
S9S%7pE 4.2 非对称旋转成像光学系统中像差理论 174
%$SO9PY 4.2.1 重要概念简介 174
$#F7C[2N 4.2.2 倾斜非球面光学面处理 176
CN<EgNt1kN 4.2.3 局部坐标系统(LCS)近轴光方法计算单个光学面像差场中心 176
=G%L:m* 4.2.4 OAR的参数化 179
XSz)$9~hk 4.2.5 倾斜和偏心的光学面的定位像差场对称中心矢量(像差场偏移量的推导) 181
SW_jTn#x 4.2.6 基于实际光线计算单个面的像差场中心 182
S-KHot ? 4.2.7 失调光学系统的波像差表示式 183
qFYM2 4.2.8 举例:LCS近轴计算与其实际光线等价计算的比较 185
;R{ffS6 4.3 近圆光瞳非对称光学系统三级像差的描述 187
d,caO E8N 4.3.1 光学系统的像差场为各个面的贡献之和 187
'nh^'i&0. 4.3.2 带有近圆光瞳的非旋转对称光学系统中的三级像差 187
o@tc 4.3.3 节点像差场 191
H{j
jA+0 4.3.4 波前误差以及光线的横向像差 194
E >lW' 4.3.5 非对称光学系统中的三级畸变 195
;B!u=_' 4.4 非旋转对称光学系统的多节点五级像差:球差 197
c0u1L@tj 4.4.1 非旋转对称光学系统像差概述 197
8P3"$2q 4.4.2 非旋转对称光学系统的五级像差 198
use`
y^c 4.4.3 五级像差的特征节点行为:球差族包括的各项 199
eww/tG a 参考文献 203
_mn2bc9M 第5章 光学自由曲面的应用 205
Z`Sbq{Kx 5.1 光学自由曲面概述 205
X[KHI1@w 5.2 参数曲线和曲面 206
w [7vxQ!- 5.2.1 曲线和曲面的参数表示 206
&i?>mt 5.2.2 参数曲线的代数和几何形式 210
x 2Cp{+} 5.3 Bézier曲线与曲面 212
._IBO; *@ 5.3.1 Bézier曲线的数学描述和性质 212
fjm(C#^- 5.3.2 Bézier曲面 215
8[xl3= 5.4 B样条(B-spline)曲线与曲面 217
sW]fPa(cn, 5.4.1 B样条曲线的数学描述和性质 217
v)J(@>CZ[ 5.4.2 B样条曲线的性质 219
:J6lJ8w
? 5.4.3 B样条曲面的表示 220
zyi;vu 5.5 双三次均匀B样条曲面 221
!U8n=A#,- 5.5.1 B 样条曲面 221
s'JbG&T[J 5.5.2 双三次均匀B样条曲面的矩阵公式 223
c
1o8 5.6 非均匀有理B样条(NURBS)曲线与曲面 224
8rY[Q(] 5.6.1 NURBS曲线与曲面 224
Cmj+>$')0 5.6.2 NURBS曲线的定义 224
A9\(vxxOpC 5.6.3 NURBS表示 226
#cy;((z uB 5.6.4 非均匀有理B样条曲面 228
Th>ff)~e 5.7 Coons曲面 229
tzV^.QWm 5.7.1 基本概念 229
!{%BfZX<& 5.7.2 双线性Coons曲面 230
S{#L7S 5.7.3 双三次Coons曲面 231
;fGh]i 5.8 自由曲面棱镜光学系统 232
'sT7t&v~ 5.8.1 自由曲面棱镜概述 232
Y~[k_! 5.8.2 矢量像差理论及初始结构确定方法 233
N(=Z4Nk5 5.8.3 自由曲面棱镜设计 236
hX9vtV5L 5.8.4 用
光学设计软件设计含自由曲面的光学系统 238
nBJ'ak 参考文献 239
@\s*f7 第6章 共形光学系统 241
~duF2m 72 6.1 概述 241
vkE a[7 6.1.1 共形光学系统的一般要求 241
ee\QK,QV 6.1.2 共形光学系统的主要参量 244
e> -fI_+b 6.1.3 共形光学系统中的像差校正 250
"1HKD 6.1.4 共形光学系统实际应用须考虑的问题 252
?3=y]Vb+ 6.2 椭球整流罩的几何特性及消像差条件在共形光学系统中的应用 253
N83c+vs%c 6.2.1 椭球面几何特性分析 253
Hx#1TqC/ 6.2.2 椭球整流罩的几何特性 256
K|sk]2. 6.2.3 利用矢量像差理论分析椭球整流罩结构的像差特性 258
5~GH*!h%; 6.3 基于Wassermann-Wolf方程的共形光学系统设计 259
>PmnR>x-rj 6.3.1 共形光学系统解决像差动态变化的方法概述 259
zW9/[Db 6.3.2 共形光学系统的像差分析 260
r"xs?P&/$ 6.3.3 Wassermann-Wolf非球面理论 261
PJ3M,2H1b. 6.3.4 利用Wassermann-Wolf原理设计共形光学系统 265
iV2v<ap.n 6.4 折/反射椭球形整流罩光学系统的设计 268
!@3"vd{^ 6.4.1 折/反射椭球形整流罩光学系统的设计原则 269
5VZZk%oy 6.4.2 椭球形整流罩像差分析 269
Q"F" 13 6.4.3 两镜校正系统初始结构设计原理 269
^ZPynduR 6.4.4 用平面对称矢量像差理论分析光学系统像差特性 274
5/YGu=, 6.4.5 设计结果 275
{u)>W@Lr 6.5 共形光学系统的动态像差校正技术 276
yB2}[1 6.5.1 共形光学系统的固定校正器 276
Fv$oXg/ 6.5.2 弧形校正器 278
|e{ ^Yf4 6.5.3 基于轴向移动柱面―泽尼克校正元件的动态像差校正技术 280
0"J0JcFX 6.6 二元光学元件在椭球整流罩导引头光学系统中的应用 283
Cm%|hk>fQ 6.6.1 二元光学元件的光学特性 284
r%\%tz'`j
6.6.2 二元衍射光学元件在椭球形整流罩导引头光学系统中的应用 286
*w$3/ 6.6.3 利用衍/射光学元件进行共形整流罩像差校正的研究 288
x@#aOf4<U 6.6.4 折/衍混合消热差共形光学系统的设计 291
I_\?w SNGM 6.7 利用自由曲面进行微变焦共形光学系统设计 295
%fMFcL#h 6.7.1 自由曲面进行微变焦共形光学系统的特点 295
]e6$ ={ 6.7.2 利用自由曲面的像差校正方法 295
!q!5D` 6.8 基于实际光线追迹的共形光学系统设计概述 298
Kw=][}d`D 6.8.1 实际光线追迹设计方法可在共形光学系统整个观察视场内得到较好像质 298
}?^]-`b 6.8.2 实际光线追迹方法概述 299
P"f4`q
参考文献 302
*3\ Nj6 第7章 非成像光学系统 308
"6q@}sz! 7.1 引言 308
keb.%cb= 7.1.1 太阳能热发电技术简介 308
S\L^ZH?[2 7.1.2 太阳能光伏发电 311
zmhL[1qj 7.1.3 照明非成像光学 312
_lrvK99 7.2 非成像光学概述 314
(tvfF0~ 7.2.1 非成像会聚器特性 314
$O_{cSKg7 7.2.2 光学扩展不变量 314
2@,rIve 7.2.3 会聚度的定义 315
g&I|@$\ 7.3 会聚器理论中的一些几何光学概念 316
"</A)y& 7.3.1 光学扩展量的几何光学概念 316
.<4U2h 7.3.2 在成像光学系统中像差对会聚度的影响 317
xSrjN 7.3.3 光学扩展量(拉氏不变量)和相空间的广义概念 318
RA1K$D ?A 7.3.4 斜不变量 320
XwIKpr8 7.4 非成像光学的边缘光线原理 322
|eI!wgQx 7.4.1 边缘光线原理 322
sB8v: 7.4.2 边缘光线原理应用――“拉线”方法 322
DT3"uJTt 7.5 复合抛物面会聚器(CPC) 324
p|g7Z 7.5.1 光锥会聚器 324
GBY{O2!3u 7.5.2 复合抛物面会聚器(CPC)概述 324
Fv<3VKueK[ 7.5.3 复合抛物面会聚器的性质 326
+CN!3(r 7.5.4 增加复合抛物面会聚器的最大会聚角 328
~S\8 ' 7.6 同步多曲面设计方法 331
lYT_Y.%I 7.6.1 SMS方法设计会聚器概述 331
_B0C]u3D 7.6.2 一个非成像透镜的设计:RR会聚器 332
[<WoXS1LX 7.6.3 XR会聚器 335
x>tsI}C 7.6.4 RX会聚器 337
0BQ{ZT-Kh 7.7 XX类会聚器 340
jo'
V.]\ 7.7.1 XX类会聚器的原理 340
f4Ob4ah!( 7.7.2 RX1会聚器 341
*k@D4F ruP 7.7.3 RX1会聚器的三维分析 341
;)FmN[ 7.8 非成像光学用于
LED照明 343
_+,>NJ 7.8.1 边缘光线扩展度守恒原理和控制网格算法 344
3
$a; 7.8.2 LED的非成像光学系统设计实例 346
|$g} &P8; 7.8.3 大范围照明光源设计(二维给定光分布设计) 347
XT?wCb41R 7.9 非成像光学用于LED均匀照明的自由曲面透镜 348
OXnTD!m>{ 7.9.1 均匀照明的自由曲面透镜概述 348
N}nE?|N=5 7.9.2 LED浸没式自由曲面透镜设计方法 349
'<$*N 7.9.3 设计示例 351
T:SqENV 参考文献 353
$WXO1o(O 第8章 光电光学系统中紧凑型照相光学系统设计 356
6)c-s|# 8.1 概述 356
Rn)fwGC 8.1.1 数码相机的组成 356
5Q\ hd*+g 8.1.2 数码相机中图像传感器CCD和CMOS的比较 357
"U/yq 8.1.3 数码相机的分类 359
6^lix9q7 8.1.4 数码相机的光学性能 364
B=~uJUr 8.1.5 数码相机镜头的分类和特点 365
CB#B!;I8v 8.2 数码相机镜头设计示例 367
DMOP*;Uk 8.2.1 球面定焦距镜头设计示例 367
b=5ZfhIg[ 8.2.2 非球面定焦距镜头设计示例 370
+j %y#_~ 8.3 变焦距镜头设计示例 372
GI@;76Qf 8.3.1 变焦透镜组原理 373
WIabQ_ fX 8.3.2 非球面变倍镜头初始数据 373
a$\Bt_ 8.3.3 折叠式(潜望式)变焦镜头示例 376
M%WO 8.4 手机照相光学系统 378
=RAojoN 8.4.1 手机照相光学系统概述 378
{eVv%sbq 8.4.2 两片型非球面手机物镜设计示例 379
sX-@
>%l 8.4.3 三片型手机物镜设计 382
!hjF"Pa 8.5 手机镜头新技术概述 385
s
bd$.6
|& 8.5.1 自由曲面在手机镜头中的应用 385
M:dH> 8.5.2 液体镜头 385
H>o \C 8.6 鱼眼镜头概述 388
%j/pln& 8.6.1 鱼眼镜头是“仿生学的示例” 388
> `mV^QD 8.6.2 鱼眼镜头基本结构的像差校正 390
h^
K]ASj 8.6.3 鱼眼镜头基本光学结构的演变 391
Ahc9HA2 8.6.4 鱼眼镜头的发展 391
+,cd$,18 8.6.5 鱼眼镜头的光学性能 393
6AoKuT; 8.6.6 光阑球差与入瞳位置的确定 396
X` J86G ) 8.6.7 光阑彗差与像差渐晕 398
34Cnbtq^ 8.6.8 鱼眼镜头示例与投影方式比较 399
j#xGB] 参考文献 402
FmhAUe 第9章 光学系统焦深的扩展与衍射极限的突破 405
$ w+.-Tr 9.1 概述 405
@1xIph<z 9.1.1 扩展焦深概述 405
`F]
9.1.2 超衍射极限近场显微术概述 409
}1%%` 9.1.3 远场超分辨成像 418
e^,IZ{ 9.2 光学成像系统景深的延拓 420
^C92R"*Qu 9.2.1 景深延拓概述 420
[H{@<* 9.2.2 延拓景深的方形孔径相位模板 425
_zJ /z 9.2.3 增大景深的圆对称相位模板 438
*Q)-"]O(k 9.3 多环分区圆对称相位模板设计 442
$E.Fgy:G 9.3.1 多环分区圆对称相位模板的概念 442
hiEYIx 9.3.2 多环分区圆对称相位模板对应系统的特性 448
kBxEp/y 9.3.3 圆对称相位模板成像系统的优缺点 450
q!W=U8` 9.3.4 初级像差的影响以及延拓景深图像的复原 451
7&D)+{g 9.3.5 延拓景深相位模板系统的图像复原与其光学成像系统的光学设计 456
IMBjI#\ 9.3.6 延拓景深光学成像系统的光学设计 460
wa~zb!y< 9.4 轴锥镜(axicon)扩展焦深 468
R:3=!zav 9.4.1 轴锥镜 468
{> <1K6t 9.4.2 小焦斑长焦深激光焦点的衍射轴锥镜的设计 476
t2YB(6w+xg 9.5 近场光学与近场光学显微镜 478
E-($Xc 9.5.1 近场光学概念 478
P]TT8Jgw 9.5.2 近场扫描光学显微镜(NSOM) 482
A7,%'.k 9.6 扫描探针显微镜 488
B"zB=Aw 9.6.1 与隧道效应有关的显微镜 489
,iY:#E 9.6.2 原子力显微镜(AFM) 491
bt(Y@3; 9.6.3 扫描力显微镜(SFM) 495
^B%c3U$o 9.6.4 检测材料不同组分的SFM技术 498
CyS%11L 9.6.5 光子扫描隧道显微镜(PSTM) 499
c*]f#yr? 9.7 原子力显微镜 504
1)jeawVmj 9.7.1 原子力显微镜的基本组成 504
H=\Tse_. 9.7.2 近场力 505
i]J.WFu 9.7.3 微悬臂力学 507
^G2M4+W| 9.7.4 AFM探测器信号 508
_C(fz CK 9.7.5 原子力显微镜的测量模式 509
CBF<53TshR 9.7.6 原子力显微镜检测成像技术 512
S;jD@j\t& 9.7.7 AFM的优点和正在改进之处 513
F" M 9.7.8 电力显微镜(EFM) 513
D9NQ3[R 9 9.8 远场超高分辨率显微术 516
\#WWJh"W 9.8.1 远场超高分辨率显微术概述 516
em5~4;&' 9.8.2 4Pi显微镜 517
(wu ciKQ 9.8.3 3D随机光学重建显微镜(STORM) 519
7qZC+x6_L 9.8.4 平面光显微镜(SPIM)基本原理 520
/qMnIo
9.8.5 福斯特共振能量转移显微镜(FRETM) 521
EpQy;#=; 9.8.6 全内反射荧光显微镜(TIRFM) 522
'=%`;?j 9.9 衍射光学组件用于扫描双光子显微镜的景深扩展 524
j*[P\Cm 9.9.1 远场超分辨显微镜扩展焦深概述 524
D~BL Txq 9.9.2 扩展焦深显微光学系统设计 525
S,ea[$_ 9.9.3 扫描双光子显微成像系统的扩展景深实验 528
G;iH.rCH 参考文献 532
8|<</v8i 第10章 自适应光学技术应用概述 542
.@%L8_sMR 10.1 引言 542
ExSM=
10.1.1 自适应光学技术的发展 542
_)~1'tCs}h 10.1.2 自适应光学系统 544
2~l7WW+lx, 10.1.3 自适应光学应用技术 545
[z ]P5 10.1.4 自适应光学在相控阵系统中的应用 547
DB65vM 10.1.5 高能激光相控阵系统简介 549
MG~Z)+g=y 10.2 自适应光学系统原理 553
(_8.gS[
10.2.1 自适应光学概念 553
5S2 j5M00 10.2.2 共光路/共模块自适应光学原理及衍生光路 557
JN4gH4ez) 10.3 自适应光学系统的基本组成原理和应用 569
!LM`2|3$ 10.3.1 波前传感器 569
HA,8O[jon 10.3.2 波前校正器 578
J*MH`;- 10.3.3 波前控制器及控制算法 584
cm_5,wB(w 10.3.4 激光导星原理及系统 589
M_Q`9 10.4 天文望远镜及其自适应光学系统 601
`GW&*[.7 10.4.1 2.16 m望远镜及其自适应光学系统 601
^<-)rzTI 10.4.2 37单元自适应光学系统 608
E:dN) 10.4.3 1.2 m望远镜61单元自适应光学系统 612
U,Uy0s2r 10.5 锁相
光纤准直器的自适应阵列实验系统 620
8>W52~^fU 10.5.1 概述 620
/}
z9( 10.5.2 光纤准直器的自适应阵列中的反馈控制 626
2G$px 10.6 阵列光束优化式自适应光学的原理与算法 631
{?Y\T 10.6.1 光学相控阵技术基本概念 631
3)ox8,{%} 10.6.2 优化算法自适应光学 633
t-o,iaPG3 10.6.3 阵列光束优化式自适应光学的原理与发展 634
h@\-]zN{ 10.6.4 阵列光束优化式自适应光学算法 635
[Z"Z5e` 10.7 自适应光学技术在自由空间光通信中的应用 642
-j]c(Q MA] 10.7.1 自由空间光通信概述 642
YY :{/0? 10.7.2 自由空间光通信系统概述 643
0%%U7GFB5 10.7.3 一些自由空间光通信的示例 649
:9ia|lN
10.7.4 自适应光学结合脉冲位置调制(PPM)改善光通信性能 653
{U$XHG 10.7.5 无波前传感自适应光学(AO)系统 656
=0]K(p, 10.8 自由空间激光通信终端系统原理 659
LH)1IGAx2y 10.8.1 终端系统结构和工作原理 659
*?d\Zcj85[ 10.8.2 激光收发子系统 660
d~r A`!s7` 10.8.3 捕获跟踪瞄准(ATP)子系统 662
cW_wIy\]& 10.8.4 光学平台子系统 662
mRRZ/m?A( 10.8.5 卫星终端系统概述 666
(lS[a 10.8.6 基于自适应光学技术的星载终端光学系统方案示例 673
1fMV$T==K 10.9 自适应光学技术的其他典型应用举例 675
!j`<iPI7B 10.9.1 自适应光学技术在惯性约束聚变技术中的应用概述 675
{<@ud0A:\ 10.9.2 自适应光学用于月球激光测距 679
>
^zNKgSQ 10.9.3 自适应光学系统在战术激光武器中的应用简介 682
fdX|t"oz 10.9.4 自适应光学在医学眼科成像中的应用 689
0m]QQGvJ{ 参考文献 696
t0e5L{ QJ 第11章 微纳投影光刻技术导论 711
dm[cl~[
Q 11.1 引言 711
2ua!<^, 11.2 光刻离轴照明技术 717
<mlN\BcX; 11.3 投影光刻掩模误差补偿 721
{6 h 1
11.4 投影光刻相移掩模 728
L(K 5f7\ 11.5 电子投影光刻(EPL) 735
j0~am,yZ 11.6 离子束曝光技术 750
97\K ]Tr 11.7 纳米压印光刻(NIL)技术 754
;22?-F^ 参考文献 761
COu5Tu^ 第12章 投影光刻物镜 769
|v8hg])I+ 12.1 概述 769
s|A[HQUtJ 12.1.1 光刻技术简介 769
4-SU\_ 12.1.2 提高光刻机性能的关键技术 769
qpjZ-[UC 12.1.3 ArF光刻机研发进展 771
X,aRL6>r 12.1.4 下一代光刻技术的研究进展 772
GvG8s6IZ 12.2 投影光刻物镜的光学参量 772
w^
z ftm 12.2.1 投影光刻物镜的光学特征 772
g[1>|Ax`' 12.2.2 工作波长与光学材料 774
mY/"rm 12.3 投影光刻物镜结构形式 784
jY%.t)>) 12.3.1 折射式投影物镜结构形式 784
lSaX!${R'T 12.3.2 折射式光刻投影物镜 785
O2ktqAWx@ 12.3.3 深紫外(DUV)投影光刻物镜设计要求 786
m4oj1h_4 12.3.4 深紫外(DUV)非球面的投影光刻物镜 786
-*KKrte 12.3.5 光阑移动对投影光刻物镜尺寸的影响 787
1}Q9y`65 12.4 光刻物镜的像质评价 788
=|aZNHqH 12.4.1 波像差与分辨率 788
()Kaxcs?+ 12.4.2 基于Zernike多项式的波像差分解 791
Ul/m]b6- 12.4.3 条纹Zernike多项式的不足与扩展 794
OM1{-W 12.5 运动学安装机理与物镜像质精修 795
FCEmg0qdjD 12.5.1 运动学安装机理 795
Qx,#Hj 12.5.2 物镜像质精修 796
|[iO./zP 12.5.3 投影光刻物镜的像质补偿 796
aY?VP?BL 12.6 进一步扩展NA 801
;@ixrj0u 12.6.1 用Rayleigh公式中的因子扩展NA 801
#GlFm?/6K/ 12.6.2 非球面的引入 802
}=R0AKz!Cv 12.6.3 反射光学元件的引入 802
R/"-r^j 12.6.4 两次曝光或两次图形曝光技术 803
S-o)d 12.7 浸没式光刻技术 803
"1^tVw| 12.7.1 浸没式光刻的原理 803
9q$^x/z! 12.7.2 浸没液体 804
-ak.wwx\ 12.7.3 浸没式大数值孔径投影光刻物镜 805
X9|*`h < 12.7.4 偏振光照明 806
X41Qkf{ 12.7.5 投影光刻物镜的将来趋势 808
yH-&o, 12.8 极紫外(EUV)光刻系统 810
Zl&ED{k< 12.8.1 极紫外(EUV)光源 810
zn^7#$fC 12.8.2 EUVL(extreme ultraviolet lithography)投影光刻系统的主要技术要求 813
lMu9Dp 12.8.3 两镜EUV投影光刻物镜 815
6M7GPHah 12.8.4 ETS 4镜原型机 819
R[jFB
7dd 12.9 EUVL6镜投影光学系统设计 820
S@3`H8 [ 12.9.1 非球面6镜投影光学系统结构 820
GB}\ 7a 12.9.2 分组设计法――渐进式优化设计6片(22 nm技术节点)
~A5NseWCK 反射式非球面投影光刻物镜 821
@OT$* Qh 12.9.3 EUVL照明系统设计要求 825
"IQYy~
/ 12.10 鞍点构建方法用于光刻物镜设计 827
7Ko*`-p 12.10.1 构建鞍点的价值函数的基本性质 827
=>c0NT 12.10.2 鞍点构建 828
0lniu=xmQ- 12.10.3 DUV光刻物镜的枢纽 830
+u=VO#IA# 12.10.4 深紫外(DUV)光刻物镜设计举例 832
aWRi`poZT 12.10.5 用鞍点构建方法设计EUV投影光刻系统 835
]!sCWR 12.10.6 极紫外(EUV)光刻物镜举例 836
r`<e<C 12.10.7 鞍点构建设计方法中加入非球面设计概述 837
p<'pqf 参考文献 840
NY<qoV 第13章 表面等离子体纳米光子学应用 850
t^K Qv~ 13.1 表面等离子体概述 850
(n.IK/: 13.1.1 表面等离子体相关概念 850
G)[gLD{g? 13.1.2 表面等离子体激发方式 852
24 [cU 13.2 SPP产生条件和色散关系 854
F7jkl4 13.2.1 电荷密度波(CWD)与激发SPP的条件 854
D:j5/ * 13.2.2 介电质/金属结构中典型的SPP色散曲线 856
>gL&a#<S 13.3 SPP的特征长度 858
|,`"Omb9+m 13.3.1 概述 858
!:5'MI@ 13.3.2 SPP的波长λSPP 859
(_FeX22+ 13.3.3 SPP的传播距离δSPP 860
$PRd'YdL/ 13.3.4 实验 862
h@*I(ND< 13.3.5 SPP场的穿透深度δd和δm 863
z.RM85 ?T 13.4 SPP的透射增强 864
wAW{{ p 13.4.1 透射增强 864
$Bc3| `K1v 13.4.2 围绕单孔的同心环槽状结构 865
}z/%b<o_ 13.4.3 平行于单狭缝的对称线性槽阵列 866
=to.Oa RR 13.5 突破衍射极限的超高分辨率成像和银超透镜的超衍射极限成像 867
5655)u.N8 13.5.1 超透镜的构成 867
Wf8@B#^{ 13.5.2 银超透镜 868
Ws0)B8y,| 13.5.3 银超透镜成像实验 869
zi`q([ 13.6 SPP纳米光刻技术 870
AU)\ lyB 13.6.1 表面等离子体共振干涉纳米光刻技术 870
:oW 16m1` 13.6.2 基于背面曝光的无掩模表面等离子体激元干涉光刻 871
"AXgT[ O 13.6.3 在纳米球―金属表面系统中激发间隙模式用于亚30 nm表面等离子体激元光刻 873
S2|pn\0V 13.6.4 用介电质―金属多层结构等离子体干涉光刻 875
gV9bt~ 13.7 高分辨率并行写入无掩模等离子体光刻 879
2 f%+1uU 13.7.1 无掩模等离子体光刻概述 879
>#&2 5,Q 13.7.2 传播等离子体(PSP)和局域等离子体(LSP) 879
n05GM.|*s 13.7.3 纳米等离子体光刻渐进式多阶聚焦方案 880
NpM;vO 参考文献 885
iuXXFuh 第14章 干涉技术与光电系统 892
'J0I$-QYk 14.1 概述 892
wsQuJrG 14.1.1 经典干涉理论 892
sl@>GbnS 14.1.2 光的相干性 893
o/a2n<4 14.1.3 常用的
激光器及其相干性 894
7D>_<)%d= 14.2 传统干涉仪的光学结构 897
HbPn<x^7 14.2.1 迈克尔逊(Michelson)干涉仪 897
vpT\CjXHZ 14.2.2 斐索(Fizeau)干涉仪 898
u' kG(<0Y 14.2.3 泰曼-格林(Twyman-Green)干涉仪 899
%zY5'$v ` 14.2.4 雅敏(Jamin)干涉仪 900
\v=@' 14.2.5 马赫-曾德(Mach-Zehnder)干涉仪 901
Crj7n/mp]s 14.3 激光干涉仪的光学结构 901
%ueD3;V 14.3.1 激光偏振干涉仪 902
=(\BM')l 14.3.2 激光外差干涉仪 904
f>Ua 7!b 14.3.3 半导体激光干涉仪光学系统 906
V'dw=W17V 14.3.4 激光光栅干涉仪光学系统 907
9dAtQwGR"6 14.3.5 激光多波长干涉仪 912
y<nPZ<