;ZLfb n3\ ZGWZ2>k 微透镜阵列是由微米级透镜组成的阵列。它具有尺寸小、集成度高的特点,能够完成一些传统光学元件无法完成的功能,构成一些新型的光学系统。微透镜阵列不仅具有传统透镜的聚焦、成像等功能,还可以用在很多光电传感器、高端照明、光束整形、光束匀化、光纤耦合和激光耦合等方面。 ,G(bwE9~
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`BZX\LPHm 基于VirtualLab Fusion的周期化功能,可以快速的构建各种微透镜阵列,并使用局部平面界面近似(Local Plane Interface Approximation,LPIA)方法来对其进行物理光学分析,如像差以及衍射效应,从而更准确的评估微透镜阵列的性能,并导出IGES、STL等加工文件以进行加工。 cY\"{o"C Q" an6ht|
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* 目前,我们采用纳米压印技术加工微透镜阵列,可以在玻璃、PET/PC、硅、金属或集成电路晶圆等各种材料或器件表面制作微透镜阵列。微透镜的材质是高透光率、耐高温的聚合物,如环氧树脂或丙烯酸酯。 e$@a zi1
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左图:VirtualLab Fusion设计的微透镜阵列 右图:加工的微透镜阵列结构
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