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    [分享]用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计 [复制链接]

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    离线991518
    高级工程师
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-08-24
    关键词： 光刻机几何光学光学设计柱面镜
    摘要：均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件，能够 在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺，设计出二维方向分开 的柱面微透镜阵列，并通过优化设计，克服了微透镜之间的接缝在远场光场处产生的中心亮线。仿真分析表明，所 设计的微透镜阵列的远场分布不均匀性达到0.85％。 iSNbbu#  
    l% p4.CX  
    关键词：几何光学；微柱面镜阵列；光学设计；照明均匀性
    附件: 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计.rar (1733 K) 下载次数:124 ，售价:2光币[记录]
    共2条评分 ，光币+10
    mang2004 光币 +5 - 2020-08-25
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-08-24
     
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    离线w789866755
    实习生
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    只看该作者 41楼 发表于: 03-28
    感谢 感谢
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    离线liying
    实习生
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    只看该作者 40楼 发表于: 03-27
    正好最近在研究微透镜 &<) _7?  
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    离线ioash
    实习生
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    只看该作者 39楼 发表于: 03-22
    学习了解下
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    离线祖传老中医
    技术员
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    只看该作者 38楼 发表于: 2023-11-09
    正要学习
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    离线谭健
    科学家
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    22003
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    只看该作者 37楼 发表于: 2023-11-09
    学习了解
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    离线dyyp
    实习生
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    只看该作者 36楼 发表于: 2023-11-09
    感谢楼主分享
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    离线aliez
    实习生
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    只看该作者 35楼 发表于: 2023-10-25
    学习了，感谢！
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    离线youchaol
    实习生
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    只看该作者 34楼 发表于: 2023-09-18
    十分感谢，希望继续多分享！！！
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    离线liulin666
    助理工程师
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    只看该作者 33楼 发表于: 2023-07-12
    光刻机照明均匀化微柱面镜阵列设计
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