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摘要 _u{z$; /=(PMoZu 通常,计算模型中假设的理想化结果明显偏离现实。 其中一个例子是在蚀刻结构中具有尖锐边界的微结构的设计:制造技术不能实现完美的锐利壁,而是产生更圆的边缘。 该可编程模块应用于所设计结构的锐利结果,根据用户指定的值对其边缘进行圆整,以便分析更真实的结构。 K7-z.WTUR s 0To^I $A;%p6PO) */6lyODf 用于平滑结构边缘的可编程模块 dHsI< |