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1. 摘要 ;SaX;!`39+ (+u39NQV 高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦仿真中考虑光的矢量性质至关重要。VirtualLab可以非常便捷地对此类镜头进行光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦光斑失对称现象。利用相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。 gO,25::") y^Kph# F" Yd= a}T IS[thbzkZ 2. 建模任务 7.@TK& 0iK;Egwm =gvBz | + P=&o%K,:f 3. 概述 Q7C;1aO :.d:9Z|_ !]fQ+ *X0g 示例系统包含了高数值孔径物镜 &q |