作为
衍射光学领域广泛使用的方法，薄元近似（TEA）在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面，当衍射
光栅的周期小到可以与
波长相比较时，这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓（正弦和闪耀），并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析，用来比较两种方法的结果。
!_LRuqQ?"
QTuj v<| 用于光栅建模的TEA与FMM
bc E%EQ z9P;HGuZ 
我们同时使用TEA和FMM（也称为RCWA）来分析两种周期不同的光栅（正弦光栅和闪耀光栅），并比较了两种方法的结果。
te8lF{R jthGNVZ 闪耀光栅的傅里叶模态分析
\:d|'r8OCM 7s'r3}B` 
在
VirtualLab Fusion中，傅里叶模态方法（FMM）可用于光栅效率的严格分析。
]QK@zb}x *q+ z 5G;O 更多相关信息，请发送邮件至：
support@infotek.com.cn 09C[B+>h 'CC;=@J 网址：
http://www.infotek.com.cn |h75S.UY bx8 |_K*^ 
> aV
Q K#oF=4_/| 购买与
软件试用请联系QQ：1824712522
