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    [分享]光刻机投影物镜结构型式比较 [复制链接]

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    离线我是菜鸟
    工程师
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-05-02
    关键词： 光刻机投影物镜
    摘要：本文分析了光刻机中采用的几种投影物镜的结构型式，比较了各自的优缺点，指出目前光刻机中采用全折射投影物镜作为主流结构型式的原因。 Z</$~ T  
    o5 . q  
    关键词：光刻机；投影物镜；全折射型；折反射型
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    共2条评分 ，光币+6
    sxwpdpd 光币 +1 - 2020-08-03
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-05-02
     
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    离线jinjun77477
    实习生
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    只看该作者 22楼 发表于: 昨天 16:48
    看下资料，应该有用
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    离线raja
    技术员
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    只看该作者 21楼 发表于: 2025-07-15
    谢谢分享
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    离线xy1916794409
    技术员
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    只看该作者 20楼 发表于: 2022-03-08
    下载了 cFD(Ap  
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    离线jabil
    技术专家
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    只看该作者 19楼 发表于: 2022-03-08
    nice to see
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    离线好好学习02
    实习生
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    只看该作者 18楼 发表于: 2022-03-08
    感谢分享
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    离线光电青年
    工程师
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    只看该作者 17楼 发表于: 2021-03-16
    先下载下来，等我把手头工作做完再看看
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    离线保护我芳
    实习生
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    只看该作者 16楼 发表于: 2021-03-16
    FENXIDUDAO
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    离线木子笑月
    实习生
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    只看该作者 15楼 发表于: 2020-12-26
    几年来的热点 学习一下
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    离线rmsh
    工程师
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    只看该作者 14楼 发表于: 2020-05-25
    光刻机是芯片行业的关键设备
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