SYNOPSYS中由许多MTF分析方法,都可在对话框MOP中找到,也可使用命令。 ^MvuFA,C 一、卷积 MTF,精确 OPD(MTF);卷积 MTF,插入 OPD(ZMTF)。 h )
Wp 1. 单一频率显示: ^-Od*DTL
Zigv;}#
7l69SQo]? [ Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR FREQ [ GRID ] GBAR
2.通过可选绘制图分析21个频率显示:
xrkl)7;
[Z]MTF { ICOL / M / P } HBAR 0 [ GRID ] GBAR [ P ]
第一种方式是在FREQ的空间频率下计算子午和弧矢的MTF,对于聚焦透镜而言频率单位为 cy / mm,对于 AFOCAL 而言频率单位为 cy / mr。助记符“MTF”使用精确光线选项,而“ZMTF”使用波前插值法。如果开关 84 关闭,这是 Zernike 展开式,如果开启,则是线性样式。可以为 ICOL 输入明确的颜色编号,为主要颜色输入字母“P”,或者输入字母“M”,表示多色分析。如果输入 P,则第二种形式给出 21 个频率的 MTF,并且可选地给出曲线图。
二、多视场卷积 MTF,精确 OPD( MFF);多视场卷积 MTF,插值 OPD( MZMTF)
从对话框MMF中或命令模式下获得四个视场点的卷积MTF。
uMg\s\Z
MFF (exact-ray method)
或 MZMTF [ GRID ] (Interpolationmethod)
[ HBAR HBAR HBAR HBAR HBAR …]
[ HGEN NHBAR]
ICOL{ICOL/M/P}
[GBAR GBAR]
{PLOT/GO}
当没有给出 HBAR条目时,默认视场为 0,0.5,0.75 和 1.0。 HGEN条目创建了一个 NHBAR 视场的数组,均匀分布在 0 到 1.0 之间。在 HBAR或 NHBAR 上可以指定最多 20 个视场点。
MZMTF 选项使用的是波前插值法,如果开关 84 关闭,它将是一个 Zernike 展开式,如果开关 84 打开,它将是一个线性样式。这些情况可以接受可选的[GRID]输入(默认为 80)。
如果透镜校正不好,并且您想在低频下检查 MTF,那么在打开开关 84 的情况下,使用 MZMTF 选项可以获得更好的精度。
三、 卷积 MTF视场(MOF); MOF的插值(ZMOF)
k|)fl l
[Z]MOF { ICOL / M / P } 0 FREQ { GRID/ 0 } GBAR [ Q ] [FREQ FREQ FREQ]
这里, MOF 利用精确的光线衍射 MTF 计算,并且 ZMOF在光瞳上插入每个点得到近似 OPD,如果开关 84 关闭则使用 Zernike 方法,如果开启则使用线性样式。
FMOF 和 FZMOF选项执行从 HBAR=-1 到+1 的完整跟踪,而其他选项执行从 0到+1 的跟踪。
"OjAhKfG FREQ 是第一个要分析的空间频率。 !B3TLeh
GRID 是网格编号,从 20 到 80; 这仅适用于插值选项。 )SmnLvL
GBAR 是倾斜视场点。必须为此定义倾斜视场以表示相关内容。 <