摘要 s%FP6u7[i
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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 [6oq##
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光栅详细说明 $/MY,:*e
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•为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 q`h7H][(A
•可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 sn2r>m3
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光栅阶次分析器设置 (}VuiNY<