摘要
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X[~e| 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助
VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个
菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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dM(}1%2 joh=0nk;D 倾斜平面下的观测条纹
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Oi=>Usd MeqW/!72$L 圆柱面下的观测条纹
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}AgIb 球面下的观测条纹
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I%43rdoPe VrA9}"1x~* VirtualLab Fusion 视窗
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AG2iLictv ,qak_bP VirtualLab Fusion 技术
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Mach-Zehnder Interferometer !'Xk=+ dRyK'Xr (来源:讯技光电)