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morningtech:如果测量和反演没大的问题,可考虑致密度大于100%。 ^rP]B-) 离子溅射,伴随反应过程,氧钻入膜层反应,化合物来不及迁移,可能会带来致密度比体材料还大。 `V\?YS} 这点可以通过高温退火(烘烤)来观察。退火后,会测量到折射率下降,可伴随厚度增加。膜林科技,专业的光学真空镀膜膜厚控制系统 .. (2019-08-13 10:55) 8j3Y&m4^
morningtech:如果测量和反演没大的问题,可考虑致密度大于100%。 rXX>I;`& 离子溅射,伴随反应过程,氧钻入膜层反应,化合物来不及迁移,可能会带来致密度比体材料还大。 1I9v`eT4 这点可以通过高温退火(烘烤)来观察。退火后,会测量到折射率下降,可伴随厚度增加。膜林科技,专业的光学真空镀膜膜厚控制系统 .. (2019-08-13 10:55) UPfO;Z`hJ
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