[求助]IBS镀制的TA2O5折射率过高的原因 [复制链接]

morningtech:如果测量和反演没大的问题，可考虑致密度大于100%。 *fOIq88  
离子溅射，伴随反应过程，氧钻入膜层反应，化合物来不及迁移，可能会带来致密度比体材料还大。 ;
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这点可以通过高温退火（烘烤）来观察。退火后，会测量到折射率下降，可伴随厚度增加。
膜林科技，专业的光学真空镀膜膜厚控制系统 .. (2019-08-13 10:55)  "pl[(rc+u  

morningtech:如果测量和反演没大的问题，可考虑致密度大于100%。 qYQUr8{  
离子溅射，伴随反应过程，氧钻入膜层反应，化合物来不及迁移，可能会带来致密度比体材料还大。  m,xy4  
这点可以通过高温退火（烘烤）来观察。退火后，会测量到折射率下降，可伴随厚度增加。
膜林科技，专业的光学真空镀膜膜厚控制系统 .. (2019-08-13 10:55)  #J'Z5)i|