synopsys光学设计软件中的鬼像控制
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鬼像是由一个或多个折射面反射引起的。SYNOPSYS可以评估和控制两种类型的鬼像:GHOST程序可以确定在像面上哪个表面组合对鬼像负责,BGI可以评价在透镜系统内的另一个位置处形成的鬼像的特性。 m(D-?mhL
为了从选择的近轴鬼像控制图像的弥散斑的大小,输入 @(+\*]?^&
M TAR WTA PGHOST JREFH JREFL d_ x
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M TAR WTA PUGHOST JREFH JREFL 3to!C"~\K-
第一个是PGHOST,用于控制物空间中一个点的近轴鬼像的弥散斑大小。这是通常的鬼像情况,其中在视场的一部分中的亮物体在另一部分中形成鬼像。第二个是PUGHOST,用于控制入瞳上的点的鬼像的大小。 J3e'?3w[
假设由表面15和表面9的反射产生的鬼像在像平面处清晰地聚焦。鬼像越小越清晰,可以通过增加弥散斑的大小来降低它的强度。假设想让鬼像的弥散斑半径不小于5 mm。以下是如何在AANT文件输入中将其定位为这个值: ,Q.[Lc=w
M 5 1 A PGHOST15 9 Db;>MWt+e
由于较大的鬼像不是缺陷,因此提供单侧像差常常较好: H9(UzyN>i
LL 5 .1 4 1 rBi6AM/
A PGHOST 15 9 dBS_N/
在这里,如果鬼像半径为5.0,缺陷值为0.1;如果半径为4.0,缺陷值为1.0。注意,像差的返回值总是正的,因此目标值也应该是正的。 GG-b)64h`
如果使用此特性进行优化,请不要打开开关47。该选项用于对单个鬼像进行详细分析,如果该开关设置用于优化,则会产生大量不必要的显示输出。 yu&mu