波前差是像质的有用度量,VARIANCE命令可以计算方差、
标准偏差、X和Y中的图像点。后两个量给出了参考球面中心的位置,在该位置方差被最小化,如果该分析是多
波长的,从所请求的色差或主波长色差的主要
光线点测量。这是对
衍射图样的峰值位置的一个有用的近似,只要OPD误差小于一个波长。对于畸变非常重要的
透镜,比如显微光刻
物镜,我们希望控制这个位置,而不是仅仅控制主光线截距的位置——这是校正畸变的一个更常见的目标。本节描述的
像差允许我们这样做。格式是:
~<O,Vs_C/ M TAR WTA { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
3E|;r
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8 M TAR WTA { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
_wu*M M TAR WTA { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
3 wt M TAR WTA { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS
sBjXE>_#) M TAR WTA { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS
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