[求助]为什么我做的增透膜去清洗后就脱膜？ [复制链接]

yangyangyang:看来大家用的油扩散泵比较多，怪不得一炉要那么久。 9P*f  
如果我和你们说我现在一炉40分钟，你们谁信，哈哈。 g?*D)WU  
你的问题在于以下几点： ]W5p\(1g  
1，腔室的洁净做好没有？ M"-.D;sa1  
2，离子源的轰击时间多少？ ]YOWCFAQot  
....... (2014-06-17 20:01)  @z:E]O}