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yangyangyang:看来大家用的油扩散泵比较多,怪不得一炉要那么久。 %"[` 如果我和你们说我现在一炉40分钟,你们谁信,哈哈。 V2B@Lq"9` 你的问题在于以下几点: K&"ZZFd_ 1,腔室的洁净做好没有? hl}iw_e 2,离子源的轰击时间多少? D9yAq'k$ ....... (2014-06-17 20:01) \]Bwib%h
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