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[求助]为什么我做的增透膜去清洗后就脱膜？ [复制链接]

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离线ychm1002

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2007-01-30

我用的是SiO2/JBM1/TiO2/SiO2 基底温度是２５０度
前几天我的基底温度是２６０度，但不脱膜～～１０度应该不会至于脱膜吧
希望各位高手指教　谢谢！！！

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离线wflney

助理工程师

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只看该作者 37楼发表于: 2020-08-14

学习学习

离线光迹

助理工程师

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只看该作者 36楼发表于: 2020-08-13

回 yangyangyang 的帖子

yangyangyang:看来大家用的油扩散泵比较多，怪不得一炉要那么久。 fb=[gK#*,
如果我和你们说我现在一炉40分钟，你们谁信，哈哈。 Md*~hb8J
你的问题在于以下几点： >h Rq
1，腔室的洁净做好没有？ FjU -t/
2，离子源的轰击时间多少？ J<vVsz+7:
....... (2014-06-17 20:01) Qi;62M

40分钟一炉，看做什么膜系吧。我用日本昭和的机器，双面AR，全部镀完，56分钟。

离线古书生

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只看该作者 35楼发表于: 2017-06-12

温度应该够了，看看你的材料参数有没有问题！估计你是没有离子源的设备，所以不考虑离子源问题！

离线囊中蓄乾坤

助理工程师

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只看该作者 34楼发表于: 2017-04-07

离子源清洗，和仓体洁净度

离线闫俊110

助理工程师

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只看该作者 33楼发表于: 2016-11-21

学到了知识呀，论坛就是好哇

离线ysc212

助理工程师

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只看该作者 32楼发表于: 2016-11-10

如果250度是标定过的温度，脱膜有可能：1 表面清洁不好；2，返油，真空度不好；3，镀制速率；4，膜层应力不匹配。
检验膜的牢固度：一般擦拭即可；按标准，则需用胶带粘拉。

离线johnyu

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只看该作者 31楼发表于: 2016-11-09

溫度三百度? 沒用IAD嗎?

离线知识乞丐

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只看该作者 30楼发表于: 2016-09-17

学到了知识呀，论坛就是好

离线luozhenbob

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只看该作者 29楼发表于: 2016-05-31

清洁度

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