光学小菜鸡:磁控溅射镀膜资料
(2021-10-15 21:12)
zF{5!b
K{N#^L! 磁控溅射的资料真没有。
't
wMvm 这东西就是个大号离子源,用离子源轰击靶材,然后靶材溅出到基板表面堆积成薄膜。
Q+S>nL!*#1 GeE|&popO 有两种磁控溅射,一种是直接溅射成薄膜,一种是先溅射单质,然后氧化或者氮化形成薄膜。
x}-r Ar FX\ -Y$K 磁控溅射比蒸发镀膜,一个是轰击用的“子弹”不一样,氩的重量是电子的几个数量级,
Jyvc(~x 所以轰击出来的颗粒初速度要比蒸发出来的高非常多,堆积的致密性也要高很多。
sURHj&:t| 所以磁控溅射可以不考虑方向性(基板竖着横着都可以),不用加热,镀膜速率高。
V]IS(U(
[~ fJ/ 但是磁控溅射的控制很麻烦,蒸发镀膜普遍使用的水晶,光控都不太好做进去。
^/c&Ud 一般用时间来控制