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[讨论]离子源问题 [复制链接]

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离线gaofei5588

实习生

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2018-05-21

离子源的Beam ，ACC，RF和RFN之间有什么联系以及它们各自的名称和作用

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离线mcgraw

实习生

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只看该作者 1楼发表于: 2022-04-02

顶一下，同问这个问题

离线蚂蚁啃大象

实习生

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只看该作者 2楼发表于: 2022-05-11

顶一下，同问这个问题

离线18844167969

实习生

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只看该作者 3楼发表于: 2022-08-29

离子辅助沉积

离线ouyuu

论坛版主

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只看该作者 4楼发表于: 2022-08-31

光弛原理和新柯隆差不多。

就新柯隆来讲：三片栅网，从下到上为ACC，SUP，GND
ACC加1000V左右电压，离子从放电室（石英碗）挤出之后，靠ACC获得初速度。
SUP加-300-700V左右电压，防止电子进入放电室。
GND就是接地，并起到保护SUP电极的作用。（东西掉在栅网上不会造成短路，打火）

中和器T脚加1000V脉冲打火，电子足够多后发生电离连锁反应。
然后K脚（阴极产生电子）和A脚（阳极拉出电子）加上电压，通过调节A脚电压调节电子数量。