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[求助]怎样镀铝才没有滤漏光，不会掉膜 [复制链接]

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离线725514453

实习生

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2018-05-19

怎样镀铝才没有滤漏光，不会掉膜

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离线sosjinyan

技术员

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只看该作者 5楼发表于: 2019-10-11

金属 AL 膜 400-700nm R>95%，能达到吗？单纯镀AL 不行吧。

离线ouyuu

论坛版主

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只看该作者 4楼发表于: 2018-06-24

如果是卷绕镀膜的话，要看冷冻机(LOADER和POLYCOLD）是否有问题。
还有是否镀铝速率太慢，送铝丝的机构是否稳定。

如果是普通的伞架式镀膜机构，楼上已经有解答。

离线光迹

助理工程师

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只看该作者 3楼发表于: 2018-06-23

如果你镀铝开离子源，你要分析漏光是作业环境或者机台环境不干净导致的还是离子源能量过大导致的，增加膜层牢固度：1.加深冷；2.镀膜起始真空抽高一点；3.加离子源快速蒸发；4.如果基底是塑料，一般会进行表面预处理后再镀膜；5.用AL2O3打底；以上信息仅提供参考作用，异常还是需要根据现场条件进行分析和做出对应。