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    [转载]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    离线讯技david
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-04-10
    1. 摘要 ]!ox2m_U  
    ckMG4 3i\j  
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 u$ yXuFj/  
    jYi,oE  
    2. ·建模任务 fGb}V'x}r  
    HdN5zl,q  
    .<zKBv  
    3. 结果 E447'aJ  
    +}O -WX?  
    T? Kh '  
    4. 文件和技术信息 M^[;{p2uZ  
     
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