设计膜系时,用的波长叫 中心波长或设计波长。 按膜系来,一般选主波长位置,宽带的选中间。 折射率要准确。 N}\$i&Vi
监控时用的波长为 监控波长。 根据光控系统和膜系来。尽量选择光量大,且响应相对平缓波段。 f]o DZO%^
又分极值控制和非极值控制。 e2/&X;2
非极值控制,选光量停止位置 稍远离 极值点,在30~70%间为宜。 ::adT=
最新型光控,可选极值附近,减少变更波长的次数,也可消除倍频监控时因色散带来的问题。 呵呵,呵呵。 7nIg3s%
极值控制,选择余地小。分变波长极值控制和一个波长到底。 dsJ}C|N
以上是单波长控制,双波长以及宽带控制没用过。 #i:p,5~")
&o:ZOD.
上海膜林科技有限公司,专业光学真空镀膜膜厚控制方案提供商,呵呵。