(1)关闭泵加热系统,然后分离蒸镀室(主要清洁灰尘,于蒸镀残渣) o^/	fr&,9  
    (2)关闭电源或程序打入维护状态   M1]w0~G  
    (3)清洁卷绕系统(几个滚轴,方阻探头,光密度测量器) k{'<J(Hb  
    (4)清洁中罩室(面板四周) Q@|"xKa	  
    (5)泵系统冷却后打开清洁(注意千万不能掉入杂物,检查泵油使用时间与量计做出更换或添加处理) MskOPg  
    (6)检查重冷与电气柜设备 x[fp7*TiG  
    这只是大概,主要还是平时的清洁,蒸镀后一定要清洁干净(注意小规格与超薄膜时更要清洁仔细)