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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 GD'Z"rhI  
    1Sza%D;3  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 >T\@j\X4  
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    En#Q p3  
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    建模任务 &['x+vL9  
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    仿真干涉条纹 L|:CQ  
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    走进VirtualLab Fusion _Gaem"k|  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 r>i95u82'  
    o)n)Z~  
    •设置输入场 @V:Y%#%  
    基本光源模型[教程视频] EY3F9h3xM|  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 [^bq?w  
    •定义元件的位置和方向 DpQWh+WRy  
    LPD II:位置和方向[教程视频] tLN^k;w  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 C984Ee  
    非序列追迹的通道设置[用例] 0!KYi_3  
    •使用参数运行检查影响/变化 tg==Qgz  
    参数运行文档的使用[用例] &WL::gy_S  
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    VirtualLab Fusion技术 ($/l_F  
    Jc}6kFgO6  
    文件信息 Oq,@{V@)9k  
    K|$ c#X  
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