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摘要 5N(OW:M kY^ k*-v 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 o8h`9_ b!oj3|9 Q:U>nm>xA [ahK+J 建模任务 za!8:( N~~
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f Wn-'iD+9< 正弦光栅—效率与高度(TEA) ,)M/mG?, %00cC~}4 )=pa* Q)Q1a;o 正弦光栅—透射相位曲线 3@42uG> <S3s==Cg %ty`Oa2 y}1Pc* 正弦光栅—透射相位曲线 Y49&EQ +t%1FkI\
3 #"!Hg )kD B*(? 正弦光栅—衍射效率 -G(#,rXk 1YNw= (0E<Fz
V U^8S@#1Q 正弦光栅—效率与周期 M $f6.j xVk5% 3,?LpdTS 0*E_D 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Y_)xytJ$ foUB/&Ee SHT` 0f#xyS 3 闪耀光栅—效率与高度(TEA) cx]H8]ch7 u|LDN*#DW ?j&ZzK'#^ RsYMw3)G 闪耀光栅—透射相位曲线 +;-ZU (hEg&@ 7=/iFv[ V*DD U]0k 闪耀光栅—衍射效率 z*B?Hw), C\4d.~C:w3 bYO['ORr@ @C%6Wo4l3 闪耀光栅—效率与周期 UA|\D]xe O?ODfO+> ~ #7@;C<nt i+F*vTM2, 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 1'N<ITb <HtGp6q e+V8I&% zz!jt
A VirtualLab Fusion一瞥 e_"m\e#N QQHQ3\ 5|cRHM# _xmQGX!| VirtualLab Fusion工作流程 sY4q$Fq tW
a'[2L 4jSYR#Hqp` • 设置光栅结构 {1qr6P," −使用界面配置光栅结构[用户案例] icb*L ~qm • 分析光栅衍射效率 OAD W;fj −光栅阶次分析器[用户案例] ,Js-'vX • 通过参数运行检查不同参数的影响 *nYg-) − 利用参数运行文档[用户案例] .9N7` F-$!e?,H KK6fRtKv>q TyjZ VirtualLab Fusion技术 z(>QGzyc IJt'[&D [:(/cKo ^Ua6.RH8 文件信息 l4dG=x}M] N:+)6a \Z,{De% t0GJ$]) X&kp1Ih<^ QQ:2987619807
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