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    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [推荐]不同轮廓亚波长光栅的成像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-09
    1. 摘要 &6@e9ff0  
    0 +"P 1/  
    亚光波长光栅在用傍轴光照射时仅产生一个衍射级，因此在这种情况下不会形成图像。 为了克服此问题，可以使用非傍轴照明。在本例中，高NA聚光透镜被用来为不同轮廓的光栅提供高聚焦照明，衍射场被另一个高NA物镜收集。 VirtualLab可以模拟这种成像过程，包括用傅立叶模态法精确模拟亚波长光栅。 Rj {D#5  
     >)S'`e4Gu  
    2. ·建模任务 )lB*] n`Z]  
    wvg>SfV,e  
    bL18G(5  
    3. 结果 J|[`8 *8  
    Q4&<RWbT^  
    i@`T_&6l  
    4. 文件和技术信息 XX'Rv]T  
    K9f7,/  
    p4I6oS`/.  
    QQ：2987619807
     
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