摘要 eU".3`CtY s$Z
_48 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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8&GBV_`I %|auAq&w VirtualLab Fusion工作流程 SIBtm m1W B ^4&-z2| • 设置光栅
结构 wjH zE
−使用界面配置光栅结构[用户案例]
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MqW7cjg −光栅阶次分析器[用户案例]
@5N]ZQ9 • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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]OM"ZG/^ e^8 O_VB 进一步阅读 RSfQNc9Z - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
qB5j;@ r - 光栅级次分析器
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