[分享]VirtualLab：全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 9v<BO$ ,a  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 g|e^}voRM  
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建模任务 {Am\%v\  
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仿真干涉条纹 FbWkT4t|  
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走进VirtualLab Fusion 0!_D M^3  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 l yO_rZT  
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•设置输入场 qV9`  
−基本光源模型[教程视频] \*!g0C8 o  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 :[|`&_D9J  
•定义元件的位置和方向 L'"20=sf  
− LPD II：位置和方向[教程视频] ZUAWSJ,s  
•正确设置通道以进行非序列追迹 Wq F(  
−非序列追迹的通道设置[用例] ;&;coH8`  
•使用参数运行检查影响/变化 J>]' {!+  
−参数运行文档的使用[用例] }9<aX Y,  
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VirtualLab Fusion技术 RyIr_:&-~  
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文件信息 ;=*b:y Y  
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