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摘要 81w"*G5AM 2.MY8}&WBu :T<5Tq*+x RaP,dR+P 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 15r=d 8DM! ]L 建模任务 c]/S<w< FW|_8q?}< Cl{Ar8d} J ;4aghzY 在VirtualLab Fusion中构建系统 N,3iSH=cN[ l[rK)PM 系统构建块 +[_3h9BK O~Bh(_R& vTTXeS-b ia_lP 元件解算器 B-PX/Q 5}c8v2R:B 0N$FIw2 cLw|[!5: 利用光线追迹进行几何光学仿真 &~2IFp PC|ul{[*} 结果:几何光线追迹 1aCpeD4|) ww #kc!' Ivj=?[c| W|y;Kxy 利用场追迹进行物理光学仿真
NRgVNE yxU9W,D v 不同离焦像面的双螺旋PSF > >KCd P,F
eF'J^ e`OQ6|.k8 kX8NRPW 文件信息 d ez4g *>1^q9M F\L!.B _l"nwEs YPf? QQ:2987619807 8/&4l,M5
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