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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 i,NN"  
    y@ J\h8_  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 e!URj\*  
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    建模任务 R|% 3JE0  
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    仿真干涉条纹 [aU#"k)M  
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    走进VirtualLab Fusion JAj<*TB.%  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 "ZE JL.Wy  
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    •设置输入场 &STgj|t_  
    基本光源模型[教程视频] &ME[H  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ZalG/PFy  
    •定义元件的位置和方向 F'lG=c3N  
    LPD II:位置和方向[教程视频] G'q7@d {'  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 ,miU'<8tQ|  
    非序列追迹的通道设置[用例] pOS:/~I3  
    •使用参数运行检查影响/变化 PQ.xmg2  
    参数运行文档的使用[用例] 2f]:n  
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    VirtualLab Fusion技术 2w)0>Y(_  
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    文件信息 ndT:,"s  
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