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简介 /4joC9\AB ".2A9]_s 本文提出并演示了一种以二维光栅耦出的光瞳扩展(EPE)系统优化和公差分析的仿真方法。 "6I[4U"@ ;>2#@QP 在这个工作流程中,我们将使用3个软件进行不同的工作 ,以实现优化系统的大目标。首先,我们使用 Lumerical 构建光栅模型并使用 RCWA 进行仿真。其次,我们在 OpticStudio 中构建完整的出瞳扩展系统,并动态链接到 Lumerical 以集成精确的光栅模型。最后,optiSLang 用于通过修改光栅模型来全面控制系统级优化,以实现整个出瞳扩展系统所需的光学性能。 LBX%H GH \}inT_{g 本篇文章将分为上下两个部分。(联系我们获取文章附件) F$hZRZ pX<a2FP 概述 nJVp.*S j.QHkI1. 我们将首先在 Lumerical 和 OpticStudio 中构建仿真系统,它们是动态链接的。 R.7#zhC`4 .T3=Eq&"W 然后,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang 进行优化,如图1所示。 TvrwVL) =%h~/, B2hfD-h,> T#iU+)-\% 图1 Lumerical 通过动态链接到 OpticStudio,OpticStudio 通过 Python 节点链接到 optiSLang,优化由 optiSLang 控制。 >x'bZ]gm *e<_; Kr? 如图 2 所示,EPE 系统包括两个用于耦入和耦出的光栅。耦出光栅分为几个区,如左侧所示。每个区都将经过优化,以具有不同的光栅形状。右图显示了光在 k 空间中的传播的变化情况。 \mXqak,y _@ i>s, |@`"F5@, !O\X+#j 图 2 光栅布局图以及光线在K空间的传播 t]TyXAr~ \X@IkL$r 第 1 步:系统设置 (Lumerical) XU#,Bu{ y-cw~kNPP3 打开附件中的 ZAR 文件时,两个光栅文件会被提取到设置的路径中。第一个光栅如图 3 所示,它是耦入光栅中使用的二元光栅。该光栅是固定的,在优化过程中不会改变。 Z! YpklZ?~ H%Y%fQ~^ z`'P>.x
yzc pG6, 图 3 耦入光栅结构为二元光栅。 I>((o` _
+KmNfR 第二个 .fsp 文件如图 4 所示,它是一个具有 7 个变量的平行四边形柱体。在优化期间,耦出中的每个区都将使用不同的变量组合集进行优化 。有关优化设置的更多信息将在优化设置部分中进行说明。 YkbO&~. yH(V&T |