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    [分享]Ansys Zemax | 如何使用 Zenike 系数对黑盒光学系统进行建模 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-04-03
    通常需要在设计中表示光学系统,即使您没有详细的处方数据,如曲率半径、眼镜等。本文展示了如何使用 Zernike 系数来描述系统的波前像差,并在无法使用 Zemax 黑匣子表面文件的情况下生成光学系统的简单但准确的表示。如果您依赖于使用光学系统测量的实验数据,但您无法获得其处方数据,则通常会出现这种情况。(联系我们获取文章附件) }[D~#Z!k  
    bMkn(_H)\  
    介绍 Gk799SDL  
    #dW$"u   
    有时需要表示光学子系统,而不详细了解其处方。对于一阶计算,近轴透镜就足够了,但是当也需要波前像差时,可以使用Zernike相位系数来提供光学系统产生的波前的精确模型。 "Oh-`C  
    A>7'W\R  
    wc~a}0uz  
    OpticStudio支持全面的黑盒功能,建议用于此目的。但是,如果无法提供 Zemax 黑匣子文件,则可以使用以下过程。 X"iy.@7  
    ./5|i*ow  
    NO`a2HR$  
    泽尼克相位数据 1;vn*w`p  
    Jev@IORN\  
    如果您想在不透露处方数据的情况下将像差数据分发给客户,则可以由 OpticStudio 生成这些 Zernike 相位系数,或者如果您正在测量没有处方数据的镜头,则可以通过干涉仪生成。根据您的干涉仪软件,您可能已经拥有OpticStudio Zernike格式的数据,网格相位数据或.INT文件。OpticStudio可以处理所有这些,但在本文中,我们将仅使用Zernike数据。 R*Pfc91}  
    6n%^ U2H/-  
    aKH\8O4L5  
    Zernike相位数据表示光学系统在特定场和特定波长下性能的测量。因为有关玻璃、曲率半径、非球面系数等的信息。不是 Zernike 数据的一部分,无法将 Zernike 数据缩放到不同的场或波长。因此,对于要模拟性能的每个(场、波长)对,您将需要一组 Zernike 相位数据。这些可以通过为每个(场,波长)组合提供一个单独的文件或(更有可能)为每个(场,波长)对提供单独的配置来输入OpticStudio。 7gD$Q  
    kX[I|Z=  
    有一个重要的例外:当被建模的系统是全反射系统时,可以使用Zernike标准SAG表面来模拟给定场点的所有波长下的性能。下一期将详细介绍此特殊情况。
    _jU6[y|XLh  
    te" 8ZmJ  
    起始设计
    [^ 7^&/0  
    Sr2c'T"  
    本文中使用的所有示例文件都包含在一个 zip 文件中,可以从本文顶部的链接下载该文件。我们将要看的第一个文件是“Cooke one field, one wavelength.zmx”,它基于 OpticStudio 分发的 Cooke 三元组示例文件。顾名思义,此文件基于单个(场,波长)对。 ,D ;`t  
    RG:ct{i  
    =,gss&J!!  
    它的波前看起来像这样:
    |4X:>Ut]  
    x*BfRj  
    G-M!I`P  
    它的光斑大小是这样的: 6<]&T lS]  
    y<)Lr}gP  
    /,E%)K;  
    &z1r$X.AW  
    现在,泽尼克系数是描述光学系统产生的波前误差的紧凑方法。为了产生“黑匣子”模型,我们必须首先生成具有相同一阶特性的近轴光学系统,然后用Zernike数据像差该近轴系统产生的波前。 _i}6zxqw  
    "vU:qwm  
    我们需要的关键近轴数据是出口瞳孔位置和出口瞳孔直径。所有波前数据都是在出射瞳孔中测量的,因此我们的黑匣子系统必须具有相同的瞳孔数据。对于此文件,瞳孔数据如下所示:
    v8 6ls[lzu  
    出口瞳孔直径 = 10.2337 mm ']Y:f)i#  
    出口瞳孔位置 = -50.9613 mm lmr {Ib2a  
    {v;Y}o-p  
    近轴当量 86IAAO`#  
    bB)EJCPq>  
    打开文件“Paraxis Equivalent.zmx”。它模拟了相同的系统,只有一个近轴透镜表面: n2(~r 'r)  
    mjBXa  
    /:yKa=$  
    iOki ZN+d>  
    请注意以下几点: C@]Z&H;  
    ·它使用与原始设计相同的场和波长。 F P mLost  
    ·其入射瞳孔直径设置为与原始系统的出射瞳孔直径相同的值。在此文件中,入射瞳孔、停止曲面和出射瞳孔都位于同一位置。 VEb}KFyP  
    ·近轴透镜的焦距和到图像表面的厚度均设置为等于原始文件的-1*出瞳位置。-1因子是因为EXPP是从图像到瞳孔测量的,但表面厚度是从瞳孔到图像的距离,因此需要改变符号。 er l_Gg  
    ·系统具有与原始系统相同的一阶属性。
    VWLou jB  
    O%0G37h  
    wG^{Jf&@$  
    该系统的出瞳与原始系统的出瞳大小完全相同,位置相同。为了在近轴透镜输出上添加像差,我们在近轴透镜之后使用Zernike标准相位表面。我们的目标是获取原始透镜的泽尼克系数,并将它们添加到近轴等效透镜的泽尼克表面上。 dVO|q9 /  
    qr<5z. %  
    'ky'GzX,  
    $ZQPf  
    Q^fli"_ :  
    在镜头之间复制泽尼克数据 4!/{CGP  
    <bGSr23*  
    返回“Cooke One Field One Wavelength.zmx”文件,然后单击“分析…波…泽尼克标准系数”。OpticStudio计算系统的波前,然后拟合一系列Zernike多项式。 3b#KrN'  
    9-bDgzk   
    Fm [,u  
    波前的采样和Zernike项的数量都可以由用户通过“设置”对话框定义。确定波前是否充分采样或泽尼克项数量的关键参数是RMS拟合误差和最大拟合误差。此设计使用采样和项数的默认参数,可提供
    Z[0xqGYLB  
    Wv(VV[?/&  
    !n)2HDYhx,  
    (q:L_zFj>"  
    l)XzU&Sc~  
    这意味着,当我们从从泽尼克系数重建的波前中减去真实的波前时,误差是百万分之一波的数量级。这已经足够接近了!但是,一般来说,您可能需要调整波前采样和最大 Zernike 项才能达到可接受的拟合。
    <k<  
    !30Dice  
    我们现在需要将泽尼克系数数据从这个设计转移到近轴等效设计中。这可以通过打印出 Zernike 数据并重新键入来完成,但这很乏味。对于宏来说,这是一个很好的工作。
    5<ery~q  
    s\>$ K%!H?  
    以下宏(也包含在文章附件中),称为Zernike Readout.zpl,从此镜头获取Zernike数据,并将其以Tools…在额外数据编辑器上导入数据可以读取。它经历的步骤如下: D}\% Q #  
    s)ZL`S?</  
    7U?x8%H*  
    首先,它定义了它需要的所有变量(L1-19)。 Bz7T1B&to  
    ! This macro writes out the Zernike standard coefficients 9.1%T06$  
    ! of a lens file in a format that can be directly imported @Cw<wrem  
    ! into the Extra data Parameters of a Zernike Standard Phase surface Pfi '+I`s  
    ! First define the variables we need 6I_W4`<VeZ  
    ! Enter whatever values are appropriate LG&~#x  
    ! Use INPUT statements if you prefer 8Jxo;Y  
    max_order = 37 # can be up to 231 |3"'>* J  
    sampling = 2 #sampling is 1 for 32×32, 2 for 64×64 etc 5&+ qX 2b  
    field = 1 ";s?#c  
    wavelength = 1 oqUtW3y  
    zerntype = 1 # Get standard, not fringe or Annular coefficients <A"}Krq?  
    epsilon = 0 # only used for Annular Zernike coefficients f&{2G2 O%  
    reference = 0 # reference to the chief ray F S1<f:  
    vector = 1 # use the built-in VEC1 array to store the data #Q$9Eq8"[  
    output$ = “zernike.dat” 7M^!t X  
    path$ = $PATHNAME() # save the data in the same location as the file we are using bnUd !/;  
    file$ = path$ + “\” + output$ ?L{[84GSO  
    PRINT “Writing data to “, file$ %4+r&  
    ur*1I/v  
    (请注意,采样和最大 Zernike 项应设置为您用于上述 Zernike 分析的值。然后,宏获取出口瞳孔直径和 Zernike 数据 (L21-27):
    \t^q@}~0Wz  
    ! Then get the Exit Pupil Diameter. Use VEC1 to store the data lh8`.sWk4V  
    GETSYSTEMDATA 1 7c4\'dt#  
    EXPD = VEC1(13) # see the manual for the data structure r+ v*(Tu  
    normalization_radius = EXPD/2 >KM<P[BRd  
    ! Then get the Zernike coefficients up to the maximum required order
    mpXc o *!_  
    GETZERNIKE max_order, wavelength, field, sampling, vector, zerntype, epsilon, reference \f@PEiARG7  
    Wd&!##3$Q  
    请注意,泽尼克曲面的归一化半径是出口瞳孔直径的一半。然后,宏将数据打印到 .DAT 文件的正确格式,以便 Zernike 标准相表面读取它 (L29-43):
    >RF[0s'-  
    JBi<TDm/  
    ! Then write them out to file in the format needed for the Import Tool
    ddlLS  
    OUTPUT file$ k gWF@"_  
    FORMAT 1 INT K~v"%sG{`  
    PRINT max_order   3xV  
    FORMAT 9.8 +a"A svw2  
    PRINT normalization_radius ",`fGu )  
    FOR order = 1, max_order, 1 -4;{QB?  
    z_term = order + 8 # offset to the correct location in the data structure, see manual! {gK i15t  
    PRINT VEC1(z_term) 7 P=1+2V  
    NEXT order R;'Pe>  
    OUTPUT SCREEN MCL5a@BX)  
    ! End l"b78n  
    PRINT “Program End” M,q'   
    END c%Kv"Z%f  
    a|T P2m  
    Zernike 数据输入到“Zernike 标准相”曲面的“参数”列中,如下所示:
    YG"P:d;s  
    XSn^$$S  
    sT'wps2  
    将此宏放入 {Zemax}/宏文件夹中,单击编程…ZPL宏…刷新列表,以便宏显示在菜单列表中,然后运行它。它将在与原始OpticStudio文件相同的文件夹中创建一个名为“zernike.dat”的文件。如果在记事本中打开此文件,您将看到:
    C37KvLQ  
    \W}?4kz  
    73 D|gF*  
    ZDcv-6C)B  
    6-QTqb?U;N  
    此文件包含泽尼克标准相表面所需的所有数据。第一个数字是 Zernike 项的数量,然后是归一化半径,然后是每个 Zernike 项。额外数据编辑器的导入工具可以直接读取此文件。 J3y5R1?EP  
    m0XK?;\V  
    mi%d([)%<  
    返回到近轴等效透镜文件。在 Surface 2 属性的“导入”选项卡中浏览并打开 zernike.dat 文件: &Q(Q/]U~  
    IWuR=I$t  
    HrEZ]iQ@O0  
    T~=NY,n  
    D3(|bSca  
    按“导入”按钮,成功导入数据后将出现Zemax消息框:
    Ny p5=  
    :=UeYm @  
    2O`uzT$  
    {C|#<}1  
    }oj$w?Ex  
    波前错误现在显示: .+|G`*1<i  
    gWv/3hWWB  
    P0k|33;7L  
    和点图显示 u <D&RT  
    "4&HxD8_ih  
    >umcpkp- h  
    K?(ls$  
    k]ptk^  
    此文件生成与原始文件相同的光线追踪结果!在随附的zip中,文件“Zernike Equivalent.zmx”显示了完成的系统。此外,文件“Direct Comparison.zmx”将同一文件的原始版本和Zernike版本显示为两种不同的配置。这允许在文件的两个版本之间轻松进行比较。
    (#X/sZQh  
     
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