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    [求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

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    离线ff13326
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-05-16
    想询问有经验的维修人员  ti5fsc  
    1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? j+jC J<  
    ]cRvdUGv  
    2.要如何预防镍电击氧化 ? ?^&ih:"  
    579Q&|L.  
    謝謝 }QE.|.fA1  
     
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    离线lishuyu18
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-02-13
    通过射频磁场的,没有缺口,无法启辉 6#=Iv X4  
    镍氧化应该还好解决,但溅射打到陶瓷杯上短路缺口,就影响中和器工作
    离线ouyuu
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-02-26
    镍的熔点很低的,最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 ^#5'` #t  
    现在随着离子源能量的提高,原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 U&3!=|j  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 }s2CND  
    ^B.Z3Y  
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发? wBt7S!>G  
    防止氧化的话只有提高氩气纯度,增加镀膜后的冷却时间。 CI*JedO]  
    防止阴极蒸发的话,就必须用原厂陶瓷。 ".jO2GO^  
    副厂陶瓷绝缘性不好,电流损耗大,会造成过热。