[求助]双凸PMMA透镜镀AR膜(求各位好心前辈指教) [复制链接]

1.目前难题，膜层牢固度不够，膜裂严重 %q"%AauJR  
2.目前镀膜工艺 &.3"Uo\#  
设备：光驰1550 >k|5Okq g  
镀膜前60度恒温40分钟 Q;Ak4[  
第一层不使用离子源清洁、同时第一层不使用离子源辅助 ]IaMp78
8  
TI3O5打底厚度200nm JhYe6y[q  
功能层：石英环/TI3O5交替镀膜 vN}#Kc\  
功能层使用离子源辅助镀膜 &{5,:%PXw  
离子源工艺能量为：500V/500mA hy1oq7F(Q  
3.听说有加硬的方法，想请教一下各位好心前辈一些问题 LPXi+zj  
(1)加硬之后不会对PMMA光学性能产生影响吗，例如，透射率，折射率 '(6z. toQ  
(2)有没有可以加硬不改变PMMA光学性能的厂家推荐。 50h! X9  

Ti的氧化物好像低温是不行的，你试下用Si打底。

  SiO打底。镀完了退火

如果你要用高折材料打底的话，试一下AL2O3

dumoty:  SiO打底。镀完了退火 (2024-02-28 16:16)  W*:.Gxv]  

hZ,_6mNg  
前辈，您能给一下更加具体的参数吗，非常感谢您

做PC的厂家都可以加硬，必须要加硬，不然镀完放置一会就起皮了，掉光了。

PMMA不加硬，防膜裂简单，问题是膜强差，也非常不耐摩擦！建议加硬