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[求助]蒸鍍AS/AF的問題 [复制链接]

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离线danieltsai06

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2022-12-01

机型:OPTORUN1850
AS膜厚15nm.
外圈AS可达规水接触角110度，但是内圈都达不到，有什么改善方法吗?
恳求指教!!!

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离线xzaxd

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只看该作者 1楼发表于: 2022-12-01

蒸发源抬高试一试？或者增加厚度

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优秀文章，支持！

2022-12-05

离线ouyuu

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只看该作者 2楼发表于: 2022-12-01

蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。

另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸

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优秀文章，支持！

2022-12-05

离线谭健

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只看该作者 3楼发表于: 2022-12-01

路过学习看看呢

离线xiezhizhi

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只看该作者 4楼发表于: 2022-12-02

学习看看呢

离线danieltsai06

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只看该作者 5楼发表于: 2022-12-05

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:蒸发源的位置很重要。材料蒸发后是往扩散泵的方向走的。 A{Q:,S)
如果蒸发源在靠门的位置，那么蒸发的分布应该就比较均匀了。
另外真空度也有关系，真空也会影响膜层分布。 !zNMU$p
你可以试着空抽几分钟后再开阻蒸 (2022-12-01 21:36) Soa5TM

真空度是越低较好，还是越高较好?

离线凯歌一万年

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只看该作者 6楼发表于: 2022-12-07

联系我 YKWQAZWSX

离线ouyuu

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只看该作者 7楼发表于: 2022-12-10

回 danieltsai06 的帖子

danieltsai06:真空度是越低较好，还是越高较好? (2022-12-05 11:08) m4nJ9<-

真空度代表了蒸发源的平均自由程，平均自由程影响分布。
真空度越高平均自由程越大，这样到达远端的材料就越多。

只能说影响分布，具体分布哪部分增多哪部分减少，
还要看具体的蒸发源位置，伞形，伞的高度，排气口高度等等

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2022-12-19

离线hhjj123

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只看该作者 8楼发表于: 2023-02-07

换材料，增加厚度

离线xhj0328

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只看该作者 9楼发表于: 2023-02-11

厚度不够，换材料

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