首先声明一下,在这里表达的只是个人看法,并不一定有道理。 3QI. |;X
关于镀膜,大家都追求的是镀膜的连续性和稳定性。 TI/5'Oke$
甚至为了稳定性,一些镀膜机厂家宁可牺牲性能。 @ /.w%
比如说镀膜过程中使用APC充氧: w%1-_;.aU6
很多人认为APC充氧只是为了给类似于TiO2这些易失氧膜料进行补氧。 @#r6->%W
其实不然。使用离子源的情况下,氧其实是足够的。 S:lie*Aux*
APC充氧还有一个重要的目的,维持镀膜环境的稳定性。 &M>o
APC是自动压力控制的英文缩写,它能起到稳定真空腔体真空度的作用。 6n A/LW\x
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在真空中,有个平均自由程的概念,一个粒子平均运动多远才能和其他粒子碰撞。 CSwPL>tUV
真空度越高,平均自由程越长,电子枪和离子源发出来原子或者离子就会更多的到达基板表面。 z[Ah9tM%
但是随着腔体的逐渐变脏,镀膜时候的真空度会变差,到达基板的原子和离子就会变少。 prEI9/d"
一般会表现为外圈和内圈的分布变化,还有折射率的变化。 70<{tjyc
为了让分布和折射率稳定,在镀膜过程中使用APC是个解决的办法。 %63s( ekU
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APC充氧口(也有充氮,充其他气体的)的位置也很重要。 _I?oR.ON33
如果是补氧和维持真空度兼而有之的,一般充氧口放在底板的中心位置。 4iDqd
如果有其他特殊原因(比如说工艺和外观的要求),会有在伞圈下方100mm处放置一个充氧环, eC3 ~| G_O
均匀开孔以便于均匀充氧。