电子枪主要技术指标： XR 3 dG:
)q.Zzi jG/
+IWf~|s
.t8hTlV?<B
1、 电子束偏转角：270°； Q`NdsS2
%IE;'aa
}
j%D{z5,nKm
XT*/aa-1'
2、 高压输出：－4KV ~ －10KV；输出稳定性小于±2%；纹波小于±5%； E:k ]Z
[b& V^41W
2+?W{yAEi
`rK@> -
3、 发射电流：0 ~ 1000mA（10KV时），稳定性±2%； IW>~Yl?
r> Xk1~<!
{0n p
U;*t5l
4、 最大输出功率：10KW； =tY %` e
]~VuY:abH
5、 灯丝电压：8V xpCZlOld
jIwN,H1$-
6、 电子溯流变化率：±3% /OB) \{-
Iz83T9I&
7、 可以使用的真空度：7x10-2~5x10-5Pa 8DMqjt3B
?.uh p
8、 XY位置移动： ±20mm ,fTC}> s4
<#;5)!gr{
9、 XY扫描宽度： ±20mm -;ra(L`
n qx0#_K-E
10、X扫描频率：50Hz Y扫描频率：500Hz r$-P
:VWN/ m
此电子枪工作稳定，运行可靠，采用日本技术和进口元件，枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，枪体关键部件采用进口原材料。开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚，使用户在选择时非常方便。束流和高压均是双路反馈控制，以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标，数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字，且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定，使蒸发面平整，不会出现“扎坑”现象。 <;'{Tj-"
6uKth mr
扫描光斑大小可以任意调整，形状为方型，可根据用户镀膜工艺要求，蒸镀高料和低料调整电子枪扫描光斑大小存储在工控机内，在镀膜时自动提取扫描方式，实现自动镀膜。有存储扫描方式15种， \x: U`T
