Eggdj+ 内容简介
iF1E 5{dH Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
.S=^) 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
ri?>@i-9= 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
"ZU CYYre 3A>Bnb 讯技科技股份有限公司
WC<K(PP 2015年9月3日
s#*T(pY 目录
Gcz@z1a=n Preface 1
tjIT4 内容简介 2
~xSAR;8 目录 i
7(oX1hN 1 引言 1
Ug1n4X3FKn 2 光学薄膜基础 2
)lsR8Hi8 2.1 一般规则 2
gZLzE*NZ 2.2 正交入射规则 3
|JD"iP: 2.3 斜入射规则 6
[^4)3cj7} 2.4 精确计算 7
50l!f7 2.5 相干性 8
cB ,l=/? 2.6 参考文献 10
2GRdfX 3 Essential Macleod的快速预览 10
B<p -.tv 4 Essential Macleod的特点 32
vL,:Yn@b 4.1 容量和局限性 33
5!pof\/a 4.2 程序在哪里? 33
Bl"BmUn 4.3 数据文件 35
5RysN=czA 4.4 设计规则 35
QxaW
x 4.5 材料数据库和
资料库 37
ZWH9E.uj 4.5.1材料损失 38
WE|-zo 4.5.1材料数据库和导入材料 39
+=Q/'g
4.5.2 材料库 41
i:coNK)4 4.5.3导出材料数据 43
c6@7>PM 4.6 常用单位 43
(WISf}[l; 4.7 插值和外推法 46
vTdJe 4.8 材料数据的平滑 50
X'
,0vK 4.9 更多光学常数模型 54
CC8)yO 4.10 文档的一般编辑规则 55
LW$(;-rY 4.11 撤销和重做 56
1YrIcovi- 4.12 设计文档 57
}CCTz0[D" 4.10.1 公式 58
k+D"LA%J 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
ip`oL_c 4.10.3 沉积密度 59
3m#/1=@o 4.10.4 平行和楔形介质 60
'wg>=|Q5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
&O:IRR7p 4.10.4 性能 61
P,}cH;w6Ck 4.10.5 保存设计和性能 64
8`{)1.d5[ 4.10.6 默认设计 64
?E*;fDEC 4.11 图表 64
0S%xm'|N 4.11.1 合并曲线图 67
7%Q?BH7{ 4.11.2 自适应绘制 68
Us.")GiHE 4.11.3 动态绘图 68
rEF0A&5 4.11.4 3D绘图 69
fy6<KEea 4.12 导入和导出 73
?m(]@6qa 4.12.1 剪贴板 73
T|%pvTIe 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
=G9 9U/ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
`;7eu= 4.13 背景 77
UBm L:Qv 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
0,z3A>C 4.15 生成Rugate 84
V8Fp1?E9S 4.16 参考文献 91
+~x'1*A_ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
e` QniTkT 5.1 Jobs 92
p";5J+?( 5.2 创建一个新Job(工作) 93
\{8?HjJEM 5.3 输入材料 94
pXy'S s@y 5.4 设计数据文件夹 95
<Pm!#)-g9 5.5 默认设计 95
S#{jyU9 ] 6 细化和合成 97
nhu;e}[> 6.1 优化介绍 97
s<XAH7?0 6.2 细化 (Refinement) 98
VbG#)>"F 6.3 合成 (Synthesis) 100
M&v;#CV 6.4 目标和评价函数 101
_&wrA3@/L 6.4.1 目标输入 102
9*&c2jh 6.4.2 目标 103
+I$,Y~&`> 6.4.3 特殊的评价函数 104
vh/&KTe?: 6.5 层锁定和连接 104
e2><Y< 6.6 细化技术 104
4m:D8&D_M 6.6.1 单纯形 105
@CTSvTt$ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
)/y7Fh 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
Mjon++>Z 6.6.2.1 Optimac参数 108
a7fFp9l! 6.6.3 模拟退火算法 109
F{*h~7D-| 6.6.3.1
模拟退火参数 109
%A$5mi^ 6.6.4 共轭梯度 111
@fc-[pv 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
x_+-TC4IXn 6.6.5 拟牛顿法 112
vH?rln 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
}mYxI^n 6.6.6 针合成 113
ixY[ HDPq 6.6.6.1 针合成参数 114
1`Ig A0V`" 6.6.7 差分进化 114
K7-z.WTUR 6.6.8非局部细化 115
3-PqUJT$ 6.6.8.1非局部细化参数 115
0z
=?}xr 6.7 我应该使用哪种技术? 116
!0Mx Bem 6.7.1 细化 116
+L,V_z 6.7.2 合成 117
GyZpdp! 6.8 参考文献 117
yp!7^ 7 导纳图及其他工具 118
GiK4LJ~cH) 7.1 简介 118
Mgp+#w+, 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
{44#<A< 7.2.1 四分之一
波长规则 119
ib\_MNIb 7.2.2 导纳图 120
B6 yTD7 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
6KRC_- 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
Tpd|+60g 7.5 斜入射导纳图 141
t+ vz=` 7.6 对称周期 141
9Rm\@E
[ 7.7 参考文献 142
}ip3d m 8 典型的镀膜实例 143
YW2h#PV6_ 8.1 单层抗反射薄膜 145
Ntt*}|:QV< 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
FTQNS8 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
M-8`zA2 8.4 W-膜层 148
@g5qcjD'[ 8.5 V-膜层 149
Q@
Ze+IhK` 8.6 V-膜层高折射基底 150
F;L8FL- 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
*N&~Uq^ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
VTwDa*]AhB 8.9 四层抗反射薄膜 153
9Wv}g"KY0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
f}t8V% ^E 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
='t}d>l 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
-.OZ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
Miz?t*|{[ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
n'@*RvI: 8.15十五层宽带抗反射膜 159
RG.wu6Av 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
"U-dw%b}b 8.17 1/4波长堆栈 162
o1?S* 8.18 陷波滤波器 163
,
.E> 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
:>y;*x0w 8.20 褶皱 165
lc$wjK[w[ 8.21 消偏振分光器1 169
2e9.U/9 8.22 消偏振分光器2 171
+# 3e<+!F 8.23 消偏振立体分光器 172
al" =ld( 8.24 消偏振截止滤光片 173
U,K=(I7OBX 8.25 立体偏振分束器1 174
\^1S:z 8.26 立方偏振分束器2 177
ek"Uq RY 8.27 相位延迟器 178
iax0V 8.28 红外截止器 179
aka)#0l . 8.29 21层长波带通滤波器 180
}P'c8$ 8.30 49层长波带通滤波器 181
`W:z#uNG] 8.31 55层短波带通滤波器 182
E&N~h|CL 8.32 47 红外截止器 183
V}Ee1C 8.33 宽带通滤波器 184
\ZA@r|=$ 8.34 诱导透射滤波器 186
fC".K
Yjp 8.35 诱导透射滤波器2 188
DNr*|A2< 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
j5[Y0)pV\ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
O6ph_$nt. 8.35 增益平坦滤波器 193
Q5b9q$L$ 8.38 啁啾反射镜 1 196
q
BIekQT 8.39 啁啾反射镜2 198
ed2r<H$ 8.40 啁啾反射镜3 199
|\W53,n9 8.41 带保护层的铝膜层 200
+e,c'. 8.42 增加铝反射率膜 201
& 'CUc/, 8.43 参考文献 202
guG&3{&\s 9 多层膜 204
)8!*,e=4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
JW!.+
Q 9.2 内部透过率 204
.DI?-=p|_# 9.3 内部透射率数据 205
Eq%f`Qg+1E 9.4 实例 206
wB bCGU 9.5 实例2 210
&f}w&k2yj 9.6 圆锥和带宽计算 212
/,_m\JkwL 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
58d[>0Xa[g 10 光学薄膜的颜色 216
tpblm|sW 10.1 导言 216
\,fa"^8 10.2 色彩 216
7=D,D+f 10.3 主波长和纯度 220
j9rxu$N+ 10.4 色相和纯度 221
*4e?y 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
L6ap|u 10.6 色差 226
ah%Ws#& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
8{i
O#C 10.8 颜色渲染指数 234
;:&|DN3; 10.9 色差计算 235
^ |SiqE 10.10 参考文献 236
dr(-k3ex 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
;NH^+h 11.1 短脉冲 238
?;_*8Doq-a 11.2 群速度 239
3vKTCHbk9 11.3 群速度色散 241
b50mMWtG 11.4 啁啾(chirped) 245
4BSqL!i( 11.5 光学薄膜—相变 245
2kt0Rxg 11.6 群延迟和延迟色散 246
x5CMP%}d 11.7 色度色散 246
u>]3?ty` 11.8 色散补偿 249
tS>^x 11.9 空间
光线偏移 256
1yZA_x15: 11.10 参考文献 258
="5D}%
12 公差与误差 260
<:Mz2Rg 12.1 蒙特卡罗模型 260
y%X!l(gQ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
d]Y;rqjue 12.2.1 误差工具 267
:EAh%q
12.2.2 灵敏度工具 271
yx|{:Li! 12.2.2.1 独立灵敏度 271
j!w{ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
haY]gmC 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
/y$ Fw9R; 12.3 参考文献 276
,<* I5: 13 Runsheet 与Simulator 277
|iI
dm 13.1 原理介绍 277
8]Tv1Wc 13.2 截止滤光片设计 277
*/l;e<E 14 光学常数提取 289
_U} vKm 14.1 介绍 289
,:e~aG,B 14.2 电介质薄膜 289
2QRO$NieV 14.3 n 和k 的提取工具 295
p<{P#?4 g 14.4 基底的参数提取 302
M2-`p 14.5 金属的参数提取 306
ZMb+sUK 14.6 不正确的模型 306
[8a(4]4 14.7 参考文献 311
0F@ ~[W|2 15 反演工程 313
rD~/]y)t 15.1 随机性和
系统性 313
rHTZM,zM=H 15.2 常见的系统性问题 314
":8\2Qp 15.3 单层膜 314
;aV3j/ 15.4 多层膜 314
9xO@_pkX 15.5 含义 319
@<{%r 15.6 反演工程实例 319
9-/q-, 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
[B#XA}w 15.6.2 反演工程提取折射率 327
Ga5*tWj 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
gK QJ^a\! 16.1 光学性质的热致偏移 329
0-S.G38{ 16.2 应力工具 335
1,%`vlYv 16.3 均匀性误差 339
Bd <0} 16.3.1 圆锥工具 339
?W{+[OXs 16.3.2 波前问题 341
jel:oy|_ 16.4 参考文献 343
-dixiJ= 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
XQ]vJQYIR 17.1 引言 345
aL4^ po 17.2 操作数 345
$j.;$~F 18 如何在Function中编写脚本 351
hNM8H 18.1 简介 351
n82tZpn 18.2 什么是脚本? 351
vt{[_L(h 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
12z!{k7N 18.4 基础 352
8&G9 ?n`I5 18.4.1 Classes(类别) 352
v?OVhV 18.4.2 对象 352
pE&G]ZC 18.4.3 信息(Messages) 352
46}U+> 18.4.4 属性 352
ud r\\5 18.4.5 方法 353
B{`adq?pW 18.4.6 变量声明 353
lc[6Mpi7s[ 18.5 创建对象 354
#\w N2`" W 18.5.1 创建对象函数 355
@W>@6E 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
c$!?4z_. 18.5.3 丢弃对象 356
Q38+`EhLA 18.5.4 总结 356
P|<V0
Vs. 18.6 脚本中的表格 357
C '(
Y 18.6.1 方法1 357
9?H$0xZV 18.6.2 方法2 357
a#=d{/ab 18.7 2D Plots in Scripts 358
TQT3]h6 18.8 3D Plots in Scripts 359
`FPQOa*%3 18.9 注释 360
=U3S"W % 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
ZLT?G 18.11 一个更高级的脚本 362
~i"=:D 18.12 <esc>键 364
K9#kdo1 2 18.13 包含文件 365
<=">2WP{ 18.14 脚本被
优化调用 366
ks0Q+YW 18.15 脚本中的对话框 368
R^.PKT2E 18.15.1 介绍 368
l&ueD&*4& 18.15.2 消息框-MsgBox 368
9jTBLp-i#N 18.15.3 输入框函数 370
-lhIL}mGf 18.15.4 自定义对话框 371
'#f<wfn 18.15.5 对话框编辑器 371
9 8|sWI3B 18.15.6 控制对话框 377
X[o+Y@bc 18.15.7 更高级的对话框 380
<R]m( 18.16 Types语句 384
w0_P9g: 18.17 打开文件 385
[7I bT:ph 18.18 Bags 387
>J7slDRo 18.13 进一步研究 388
}ssV"5M 19 vStack 389
m[}k]PB> 19.1 vStack基本原理 389
jw:z2:0~ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
1%+-}yo< 19.3 五棱镜 393
uCDe>Q4@/ 19.4 光束距离 396
;d6Dm)/( 19.5 误差 399
Kz"3ba}KH 19.6 二向分色棱镜 399
'5BD%#[ 19.7 偏振泄漏 404
Mk}T 19.8 波前误差—相位 405
zWEPwOlI1P 19.9 其它计算参数 405
ddfGR/1X 20 报表生成器 406
&>zH.6%$ 20.1 入门 406
NfvPE ]S 20.2 指令(Instructions) 406
Kyh>O)"G^% 20.3 页面布局指令 406
dipfsH]p 20.4 常见的参数图和三维图 407
OT
0c5x 20.5 表格中的常见参数 408
Zk=,`sBC 20.6 迭代指令 408
N(7 XILC 20.7 报表模版 408
G!Zb27u+ 20.8 开始设计一个报表模版 409
y!=,u 21 一个新的project 413
bTum|GWf 21.1 创建一个新Job 414
Z_q+Ac{p 21.2 默认设计 415
sF
{,n0<8 21.3 薄膜设计 416
n5$#M 21.4 误差的灵敏度计算 420
Z~J]I|R: 21.5 显色指数计算 422
"N}t =3i$ 21.6 电场分布 424
PQ4mNjXN 后记 426
S~Gse+* 有兴趣可以扫码加微咨询
?@ oF@AEx=