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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 A?6b)B/e? nGyY`wt&Rg ]vu'+F$ <pPI:D@G 光栅详细说明 _G'.VSGH m'429E]\S ^s24f?3 BJlF@F# •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 ;GE0iSC •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 1` 9/[2z rU'&o) a^ 光栅阶次分析器设置 "pHQ ?|8H$1 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 w@oq.K •可以指定各种输出选项。 y8,es$ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 &O!d!Pf hr)TC- @];Xbbw+c orL7y&w(v: 常规设置 $]%k
<|X JXvHsCd? 1 bv L dn`#N^Od •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 Y4b"(ZhM_ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 s!UC{)g, b\;QR?16R 单个阶次设置 OGae]O< Q2k\8i jp& |