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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 _A*0K,F- *ni|I@8 iL<O|' be $la,_Sr 设计任务 cB^lSmu5 ^`THV uyIA]OtyN *fZ'#C~x 仅位相透射设计(IFTA) 2t<CAKBB
K~R{q+ 3&f{lsLAC <LY+"
Y 仅位相透射设计(IFTA) {rQ`#?J}^? >{Djx iDr0_y*t C.O-iBVe# 超表面晶胞分析 Vv]mME@ |n;7fqK Re_.<_$ A[MEtI=Q J 构建超光栅 \&fK 8H1 f{0PLFj l"/O s_4O sKtH4d5) 初始超表面设计的评估 qI9 BAs1~} :O2N'vl47A L 'y+^L|X 3;AAC (X 参数优化 ?FyA2q! =zdRoXBY[b #"l=Lv L`6`NYR 优化超光栅设计的评估 Wp $\> ?uQpt( eo!{rs@f ja2LXM 走进VirtualLab ~<-i7uM oID,PB*9 ~p&sd) 3 }XS|Y VirtualLab Fusion的工作流程 x\WKsc 分析超表面晶胞 WD<M
U ] - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] C'Q} Z_ 构造超光栅 bA:abO 分析光栅衍射效率 6Y=)12T - 光栅级次分析 [用例] o/&Q^^Xj^~ 光栅结构参数优化 Y&nY]VV WukD|BCC mSs%g L]g +m_quQ/ys VirtualLab Fusion技术 eG.?s;J0 ==&=3 ;-59#S&?tB
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