复杂
光栅结构被广泛应用于
光谱仪、近眼显示
系统等领域。VirtualLab Fusion
软件用傅立叶模态法（FMM,或者RCWA）一种简易的
仿真方法来严格分析任意的光栅结构。使用图形用户界面，可以设置堆栈的几何图形，从而生成复杂的光栅结构。 此例程主要用于构建具有二维周期性特征的光栅。
• 光栅工具箱中构建二维光栅的方法 − 基于介质定义的类型 − 基于界面定义的类型
'd(OFE-hn • 计算之前修改高级选项和检查定义的结构的方法。
^=}~ • 提示：在VirtualLab软件中的光栅结构中，表现为二维周期性的被称作 三维光栅。同样的，层状光栅（一维周期性）被称作二维光栅。
~1i,R1_\Y 9kWyO:a_( 初始化光栅工具箱
C
KBLM2 D • 初始化
I
Yj\t?,0 − 开始菜单栏 (Start)
&YDb/{|CIC 光栅菜单栏(Grating)
u3w `(3{ < 通用光栅光路图（三维光栅） General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
+ .mIC:9 • 提示：对于特殊类型的光栅，例如柱形光栅，
{HlUV3 3O 可以在光栅工具箱中直接点击柱形光栅光路
+|r)
;>b 图（三维光栅）(Pillar Grating Light
DTI+VY .W^ Path Diagram(3D Gratings))
`{<2{}2M Y)? 4OB=n 设置光栅结构
qdjRw#LS^q "-90:"W • 首先，需要定义基底(Base Block)的厚度和介质。
}S qey:9jH • VirtualLab中光栅结构在堆栈(stack) 中定义。
_LxV) • 可以在基底的前表面、后表面或者前后表面同时添加堆栈(stack)。
(/Hq8o-Fw • 例如，图中在前表面添加了堆栈(stack)。
r"zW=9 O= 基于
材料定义光栅的类型（例程： 柱形光栅）
m%'9 z L c 堆栈编辑器
lKxv
SyD 2p8JqZMQb KSM e#Qnw 在堆栈编辑器(Stack Editor)中，界面和材料可以从中目录(catalog) 中添加。
ZZ)bTLu • 为了用一种特殊的介质定义光栅，需要添加两个平面界面，作为介质的边界。
[}+0N GgR Oh5(8.<y 两个平面之间的介质类型可以是均匀介质(homogenous)或者调制介质(modulated)。
e} -uU7O • 使用调制介质，就可以非常有效地描述复杂光栅结构，如柱形光栅。
柱形光栅介质
AW!|xA6'`: +g@@|&B • 在目录类别中LightTrans预设(LightTrans Defined)下柱形介质类(pillar media)中可以添加铬柱(Chromium Pillars)。
8~Rja • 这种介质可以仿真柱形结构或者在基底表面打孔的结构。
XK{`x< • 此例程中，矩形排布的金属铬圆柱位于熔融石英基底表面。
!c\s)&U7B • 在堆栈编辑器的视图中，不同材料根据
折射率的高低表示为不同深浅的颜色
5MO:hE 5sm （颜色越深，折射率越高）。
_bMD | • 注意：堆栈编辑器固定显示x-z平面的横截面视图。
pzCD'
!* g Pd:>$
• 请注意：界面添加的顺序固定由基底表面开始算起。
6JSa:Q>, • 选中的界面会以红色突出显示。
Xa Yx avq • 此外，无法在此处定义光栅前面的介质（指
`[C8i F*Y" 最后一个界面后的介质）。它会自动从光栅部件前面的材料中提取。
Z : &"Ax • 可以在
光学参数设置编辑器(Optical Setup Editor)中更改这处材料。
k'xnl"q ~2S`y=* : • 堆栈周期(Stack Period)可以控制整个结构的周期。
hUxpz:U* • 对于二维周期性光栅，必须在x和y方向分别定义周期。
D-8%lGS • 该周期也是FMM算法的周期边界条件。
N`Zm[Sv7 • 对于简单的光栅结构，建议选择与介质周期一致 (Dependent from the Period of Medium) 选项，并选择合适的周期性介质的序号。
] j}zN2[A
